優(yōu)可測白光干涉儀關(guān)于光學(xué)鏡片的表面粗糙度、面形PV值、曲率半徑的測量案例
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,光學(xué)鏡片廣泛應(yīng)用于人們的日常生活。提高光學(xué)鏡片的產(chǎn)品質(zhì)量與性能對提升現(xiàn)代光學(xué)產(chǎn)業(yè)的競爭力起著至關(guān)重要的作用,而要提高光學(xué)鏡片的產(chǎn)品質(zhì)量與性能,不僅要依靠*的加工技術(shù),更離不開精密檢測技術(shù)。表面粗糙度、面形、曲率半徑等參數(shù)是影響光學(xué)鏡片品控與性能的重要因素,選擇一種精度高、速度快、操作簡便的檢測方法,能夠幫助降低光學(xué)鏡片的報(bào)廢率,進(jìn)一步提升光學(xué)鏡片產(chǎn)業(yè)的競爭力與核心技術(shù)。
一、光學(xué)鏡片的分類:
按照鏡片的形狀,可分為球面鏡片和非球面鏡片兩大類。
1、球面鏡片是指一面是球面、另外一面是平面,或者是內(nèi)外兩面都為球面的鏡片。球面鏡一般分為凹面鏡和凸面鏡。球面鏡片會有像差的現(xiàn)象發(fā)生,因此,能減少、補(bǔ)足、矯正像差和畸變的非球面鏡片應(yīng)運(yùn)而生。
2、非球面鏡片是由多像高次方程決定面形上各點(diǎn)的半徑均不相同的鏡片,鏡片表面的曲率不是正圓形的。這種鏡片在光學(xué)系統(tǒng)中可以通過校正多種像差來提高成像質(zhì)量,擴(kuò)大視場和提高光學(xué)系統(tǒng)的性能,從而提高光學(xué)系統(tǒng)的鑒別能力。一個(gè)或者幾個(gè)非球面鏡片可以替代很多個(gè)球面鏡片,以此來降低產(chǎn)品制作成本,簡化產(chǎn)品制作流程和結(jié)構(gòu),并在一定程度上降低光學(xué)產(chǎn)品的重量。目前非球面已經(jīng)漸漸成為光學(xué)產(chǎn)品中應(yīng)用較多的光學(xué)元件之一。
非球面技術(shù)一般應(yīng)用于專業(yè)攝像頭、天文望遠(yuǎn)鏡、精密顯微鏡、光學(xué)測量儀器等光學(xué)儀器中,使其成像更加清晰、準(zhǔn)確。
在半導(dǎo)體激光器和光纖通信領(lǐng)域中,非球面技術(shù)可以提高光束的聚焦和耦合效率,提高設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。
在醫(yī)療器械領(lǐng)域中,非球面透鏡可以實(shí)現(xiàn)激光束的精確定位和聚焦,提高激光手術(shù)的準(zhǔn)確性和安全性;還可以應(yīng)用于人工晶體、眼鏡鏡片等醫(yī)療器械制造中,提高視力矯正的效果和舒適度。
在航天航空領(lǐng)域中,非球面透鏡可以提高衛(wèi)星、望遠(yuǎn)鏡等空間光學(xué)設(shè)備的成像精度和穩(wěn)定性,適應(yīng)各種的空間環(huán)境。在飛機(jī)等航空器件中,非球面技術(shù)還可以提高光學(xué)導(dǎo)引系統(tǒng)的性能,提高導(dǎo)航和制導(dǎo)的準(zhǔn)確性。
二、光學(xué)鏡片的精密測量需求:
表面粗糙度是指表面具有較小間距和微小谷峰的不平度。表面粗糙度越小,則表示物體表面越光滑。Sa是指取樣面積內(nèi)“所有波峰波谷的輪廓偏距值的算術(shù)平均值”。
面形是指光學(xué)鏡片表面的形狀和曲率。不同的面形會對光線的傳播和聚焦產(chǎn)生不同的影響。在光學(xué)領(lǐng)域中,光學(xué)表面面形質(zhì)量的指標(biāo)一般為PV值,也叫峰谷值,一般表示透鏡的實(shí)際表面與理想球面之間的偏差,是一種較為全面的表面誤差指標(biāo)。一般來說,PV值越小,表示物體表面越平整,加工質(zhì)量越高。
曲率半徑指的是光學(xué)鏡片的頂點(diǎn)與曲率中心之間的距離,是光學(xué)元件研發(fā)和生產(chǎn)的一個(gè)重要參數(shù)。通過曲率半徑的精密測量,可以確定光線穿過鏡片時(shí)的光學(xué)路徑長度,以此幫助研發(fā)、生產(chǎn)與品控監(jiān)測各個(gè)階段的參數(shù)需求。
為了達(dá)到光學(xué)鏡片預(yù)期的精度標(biāo)準(zhǔn),在光學(xué)鏡片的加工過程中會進(jìn)行多次精密測量與修形,檢測是否符合產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),通過多次迭代磨削、研磨、拋光等手法,提高光學(xué)鏡片的產(chǎn)品精度、質(zhì)量與性能。因此,精密測量是光學(xué)鏡片產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、制造中不可缺失的一步。
(1)超光滑加工元件:
在精密光學(xué)領(lǐng)域,一般把Ra值<0.3nm的元件稱為超光滑(超滑)元件。在光學(xué)系統(tǒng)中,超光滑加工元件憑借極低的表面粗糙度和無損表面的特點(diǎn),有效減少光的散射。
下面是超光滑透鏡的表面粗糙度的測量案例:
(2)微透鏡:
微透鏡是一種常見的微型光學(xué)元件,在光學(xué)系統(tǒng)中用于聚、發(fā)散光輻射。微透鏡陣列是由多個(gè)微透鏡組成的陣列結(jié)構(gòu),不單單具備傳統(tǒng)透鏡的聚焦、成像等基本功能,還有著集成度高、單元尺寸小的優(yōu)點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)對光線的高效控制和處理,廣泛應(yīng)用于光學(xué)通信、光學(xué)成像、激光加工等領(lǐng)域。
下面是微透鏡矩陣的表面粗糙度、曲率半徑、面形PV值的測量案例:
(3)菲涅爾透鏡:
菲涅爾透鏡,也被稱為螺紋透鏡,其鏡片表面上,一面是光滑的,另一面則刻有一系列由小到大的同心圓。這種同心圓紋理是根據(jù)光的干涉、擾射、相對靈敏度以及接收角度的要求而設(shè)計(jì)的。
菲涅爾透鏡的應(yīng)用非常廣泛,常被應(yīng)用于精密光學(xué)、高分子材料、機(jī)械加工、航空航海、紅外探測、智能電子產(chǎn)品、聚光聚能、新能源光伏等領(lǐng)域。
下面是菲涅爾透鏡曲率半徑、面形PV值測量案例:
(4)柱面鏡:
柱面鏡是一種特殊的非球面透鏡,具有改變成像尺寸大小等特殊的光學(xué)性能,可以有效減小色差與球差,廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)產(chǎn)品之中。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對柱面鏡零件的要求也越來越高,此時(shí)精密測量技術(shù)就起到了關(guān)鍵作用。
下面是柱面鏡的曲率半徑、面形PV值的測量案例:
(5)凹面鏡、凸面鏡:
凹面鏡是指用球面的內(nèi)側(cè)做反射面的球面鏡,凸面鏡是指用球面的外側(cè)做反射面的球面鏡。凹面鏡對光線起到匯聚作用,常應(yīng)用于衛(wèi)星天線、雷達(dá)、燈具、望遠(yuǎn)鏡等產(chǎn)品;凸面鏡對光線起到發(fā)散作用,常應(yīng)用于需要擴(kuò)大視野的產(chǎn)品中,如轉(zhuǎn)彎鏡、廣角鏡等。
下面是凹面鏡表面粗糙度、面形PV值測量案例:
優(yōu)可測白光干涉儀AM-7000系列精度達(dá)亞納米級。
RMS重復(fù)性可達(dá)0.002nm,搭配大量程壓電陶瓷器件,掃描速度400μm/秒。
3200Hz加以SST+GAT算法,可瞬間完成500萬點(diǎn)云采集。
白光干涉儀基于白光干涉原理,通過光干涉相位計(jì)量,任意放大倍率下均可獲得小于1nm的檢測精度。
涵蓋市場上通用的國際標(biāo)準(zhǔn)測量工具,高效率輕松分析3D數(shù)據(jù),從容應(yīng)對各行各業(yè)的應(yīng)用。
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