為了高效、經(jīng)濟(jì)地開展清潔度分析，所有參與生產(chǎn)的各方（通常是零部件供應(yīng)商和產(chǎn)品制造商）都必須根據(jù)產(chǎn)品的要求，預(yù)先就產(chǎn)品規(guī)格達(dá)成一致。各方必須明確標(biāo)準(zhǔn)要求，比如有可能造成損害的顆粒特性，要遵循哪些標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，以及記錄結(jié)果的最佳方式等[2]。
自動(dòng)化進(jìn)行顆粒分析有助于實(shí)現(xiàn)高效的清潔過程。光學(xué)顯微鏡是一種被廣泛應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)方法，可以快速自動(dòng)分析提取的顆粒，確定它們的數(shù)量、大小和其他具體屬性[2,6,7]。通過其他技術(shù)（如粒子計(jì)數(shù)或掃描電子顯微鏡）獲得的結(jié)果不能與光學(xué)顯微鏡的結(jié)果相較，因?yàn)閮烧卟捎玫氖遣煌臋z測(cè)方法[6,7]。

根據(jù)顆粒的尺寸（長(zhǎng)、寬、高）和材料特性，可以將其分為多種類別。一般來說，由碳化物、金屬或陶瓷組成的顆粒都質(zhì)地堅(jiān)硬，可以研磨，比如剛玉（氧化鋁）就屬于這類材料；而由塑料和其他有機(jī)材料組成的顆粒則質(zhì)地柔軟，研磨性欠佳。金屬和半導(dǎo)體陶瓷顆粒還具有導(dǎo)電性，因此，它們損壞電子元件的可能性很大。
就元件造成損害的風(fēng)險(xiǎn)而言，對(duì)于汽車工業(yè)來說，較高的硬質(zhì)顆粒（如碳化物、金屬、陶瓷等）比長(zhǎng)而軟的塑料纖維更容易造成損害，因?yàn)樗鼈兊难心バ院湍ノg性更高。對(duì)于電子工業(yè)來說，金屬顆粒的導(dǎo)電性最高，尺寸超過200μm的顆粒[3]最容易導(dǎo)致電路板短路。

制造商和用戶可以利用標(biāo)準(zhǔn)化方法和手段獲得可靠、可重復(fù)、可比較的清潔度結(jié)果。
汽車行業(yè)的主流標(biāo)準(zhǔn)是VDA 19.1[6]和ISO 16232[7]，它們給出了定義和常用參數(shù)的范圍，如：用于清潔度分析的顆粒等級(jí)的大小和成分，顆粒識(shí)別的閾值，圖像設(shè)置等。
VDA 19.1標(biāo)準(zhǔn)提到，除光學(xué)顯微鏡外，其他方法如SEM、能量色散譜（EDS）和激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）也能可靠、有效地識(shí)別顆粒污染的來源[6,8]。LIBS可用于在空氣中用光學(xué)顯微鏡直接分析樣品，無需額外花時(shí)間制備樣品，也不需要將樣品運(yùn)送到另一臺(tái)儀器上進(jìn)行分析[6,8]。因此，與SEM/EDS相比，LIBS可以更快地確定顆粒成分，從而更有效地找出污染源[8]。
在電子行業(yè)，清潔度的通用參考標(biāo)準(zhǔn)是ZVEI發(fā)布的一份指南（ZVEI=德國(guó)電氣和電子制造商協(xié)會(huì)），名為“電氣工程的技術(shù)清潔度”[4]。

汽車零部件的清潔工作流程包括5個(gè)主要步驟[6,7]：

• 1.清洗/水洗部件；

• 2.通過過濾清潔液來提取顆粒；

• 3.分析過濾器上的顆粒；

• 4.記錄顆粒的尺寸和其他特征；

評(píng)估造成損害的潛在風(fēng)險(xiǎn)并確定污染源。

徠卡顯微系統(tǒng)和PALL公司簽訂了合作協(xié)議，致力于幫助終端用戶創(chuàng)建一套理想的整體清潔工作流程[9]。用戶可以同時(shí)與徠卡公司的顆粒分析專家和PALL公司的顆粒提取專家互動(dòng)，以優(yōu)化他們的樣品制備和清潔過程。
部分敏感的電子元件只能在無塵室中生產(chǎn)和清洗，才能避免空氣污染，達(dá)到可接受的技術(shù)潔凈度水平[3]。而對(duì)污染不太敏感的元件，則可以等生產(chǎn)結(jié)束后再行清潔[3]。向元件噴灑液體，或用溶液清洗元件，可去除元件表面殘留的顆粒。然后對(duì)液體或溶液進(jìn)行過濾，將過濾器烘干，再對(duì)過濾器上的顆粒進(jìn)行分析。
電子元件的清潔工作流程與汽車零部件非常相似，也是5個(gè)主要步驟[3,4]：

• 1.向元件噴灑液體，或用溶液清洗元件；

• 2.通過過濾噴灑的液體或清洗液來提取顆粒；

• 3.分析過濾器上的顆粒；

• 4.記錄顆粒的尺寸和其他特征；

• 5.評(píng)估引發(fā)問題的潛在風(fēng)險(xiǎn)。

汽車和電子業(yè)零部件上的顆粒污染物會(huì)產(chǎn)生負(fù)面影響，可能會(huì)降低產(chǎn)品性能或引發(fā)早期故障。對(duì)于汽車，發(fā)動(dòng)機(jī)部件或過濾系統(tǒng)是重災(zāi)區(qū)。對(duì)于電子產(chǎn)品來說，印刷電路板（PCB）上的污染物會(huì)導(dǎo)致短路。在過去的幾年里，市場(chǎng)對(duì)電動(dòng)汽車（e-mobility）的需求一直在增長(zhǎng)。制造電動(dòng)汽車需要滿足兩個(gè)行業(yè)的清潔標(biāo)準(zhǔn)。
顯然，技術(shù)清潔對(duì)于現(xiàn)代制造工藝的質(zhì)量控制非常重要。如果生產(chǎn)中需使用多個(gè)供應(yīng)商提供的零部件，那么經(jīng)濟(jì)高效的清潔過程必須始于供應(yīng)商這一環(huán)。
本文闡明了優(yōu)化清潔度分析和整體工作流程的核心因素。