探頭故障現(xiàn)象、原因及排除方法
1、沉積期間厚度讀數(shù)大跳變
a. 不良晶片產(chǎn)生 解決方案:更換晶片
b. 晶片接近其使用壽命 解決方案:更換晶片
c. 晶片支承座表面有雜物 解決方案:用酒精或細(xì)砂皮清洗支承座
d. 來(lái)自濺射源的頻率干涉 解決方案: 檢查接地,儀器遠(yuǎn)離濺射源
2、沉積期間晶體停振,但晶片壽命未到
a. 晶片被來(lái)自鍍膜源熔化材料小熔滴撞擊 解決方案:鍍膜起始階段用檔板遮蔽后移開(kāi)
b. 不良晶片 解決方案: 更換晶片
c. 晶片支承座內(nèi)腔表面有雜質(zhì) 解決方案:清洗
3、晶體在真空中振蕩,單暴露空氣后停振
a.晶體接近使用壽命,暴露空氣導(dǎo)致薄膜氧化而引起薄膜壓力增加 解決方案: 更換晶片
b. 晶片積累了過(guò)多水分 解決方案:暴露空氣之前關(guān)掉探頭冷卻水
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。