等離子清洗機對半導體IC封裝領(lǐng)域去膠改性
在微電子封裝的生產(chǎn)過程中,使用等離子體清洗機能很容易去除掉生產(chǎn)過程中形成各種交叉污染、自然氧化等,器件和材料表面的的各種沾污,如有機物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、焊料、金屬鹽等污染,保證工件表面原子與即將附著材料的原子之間緊密接觸,從而有效地提高引線鍵合強度,改善芯片粘接質(zhì)量,減少封裝漏氣率,提高元器件的性能、成品率和可靠性。
等離子清洗機專為半導體IC/封裝領(lǐng)域表面清洗與改性而設(shè)計
半導體IC產(chǎn)品封膠前采用等離子清洗機進行表面清洗
1、芯片清洗:采用等離子清洗機處理設(shè)備對芯片進行清洗,可以去除表面及內(nèi)部污染物,確保后續(xù)封裝工藝質(zhì)量。
2、表面活性:采用等離子清洗機對芯片表面進行活性處理,使其表面增強,從而促進粘合劑與芯片表面的粘附
等離子清洗機器用于LED鍍膜、噴涂、封裝前處理能保證提高表面附著力,提高包裝性能。
等離子清洗用于LED封裝工藝中增強鍵合引線強度,去污去氧化,提升粘接力
等離子清洗機用于LED封裝、點膠、粘接、密封預處理
等離子清洗機用于點銀膠前前處理;
如果基板上有看不見的污染物,會導致親水性差,不利于銀膠的擴散和切片的粘貼,在粘貼過程中還可能對切片造成損傷。采用等離子清洗機進行表面處理能形成干凈的表面,還能使基材表面粗糙,從而提高其親水性,減少膠水用量,節(jié)約成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量。
引線鍵合前采用等離子清洗機處理;
晶圓與基板粘結(jié)時,在固化過程中特別容易添加一些細小顆?;蜓趸?,即這些污染物會降低焊縫的強度,導致虛焊或焊縫質(zhì)量差。為了改善這一問題,需要等離子體清洗機來提高器件的表面活性、結(jié)合強度和拉伸均勻性。
LED封膠前采等離子清洗機處理工藝;
在LED注入環(huán)氧樹脂膠的過程中,殘留的污染物會導致泡沫塑料的形成,直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。因此,在實際生產(chǎn)過程中,在這個過程中應(yīng)盡量避免產(chǎn)生氣泡。經(jīng)等離子清洗機處理提高芯片、襯底與膠體的附著力,減少氣泡的形成,同時提高散熱率和出光率。
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