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X射線熒光光譜儀作為一種比較分析技術(shù)，在一定的條件下，利用初級X射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線）而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器。
按激發(fā)、色散和探測方法的不同，分為：
X射線光譜法（波長色散）
X射線能譜法（能量色散）
波長色散X射線熒光光譜技術(shù)是一種通過測量小波長范圍內(nèi)的特征X射線來獲取有關(guān)材料的一系列元素信息的無損分析技術(shù)，主要應(yīng)用于應(yīng)用于催化劑、水泥、食品、金屬、礦物樣品、石油、塑料、半導(dǎo)體和木材的成分分析。
使用高能量電子束照射固體或液體樣品，當(dāng)樣品中的一個(gè)原子或離子受到足夠能量（大于原子的 K 或 L 殼層結(jié)合能）的X射線撞擊時(shí)，內(nèi)層電子從原子或離子的內(nèi)軌道上撞出時(shí)，原子或離子內(nèi)部產(chǎn)生空隙，來自更高軌道（高能量軌道）的外層電子釋放能量并下降以取代脫離的內(nèi)層電子填充內(nèi)軌道中留下的空隙。
在這個(gè)過程中外層電子需要通過釋放能量下降到較低的能量狀態(tài)以進(jìn)入內(nèi)軌道，而外層電子所釋放的能量輻射就是X射線。兩個(gè)軌道之間的能量差異是原子或離子的電子構(gòu)型的特征，可用于識別原子或離子。
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