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硅片搬送機(jī)的發(fā)展背景及組成介紹
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，硅片作為常用的基材被廣泛應(yīng)用在芯片、集成電路和電子器件的制造上。目前在硅片的整個(gè)加工過(guò)程中需要使用鍍膜設(shè)備對(duì)硅片的表面進(jìn)行鍍膜。其中硅片是放置在石墨舟中，由硅片輸送線輸送而來(lái)，這里硅片輸送線并不直接將石墨舟輸入到鍍膜設(shè)備中，而是先由轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備將硅片輸送線上的石墨舟中的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)到中轉(zhuǎn)石墨舟中，然后轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備再將中轉(zhuǎn)石墨舟輸送到鍍膜設(shè)備中；當(dāng)鍍膜設(shè)備對(duì)硅片鍍完膜后，轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備再將裝有鍍膜后的硅片的中轉(zhuǎn)石墨舟中的硅片放到硅片輸送線上的石墨舟中，并在放置完成后向該中轉(zhuǎn)石墨舟重新裝入未鍍膜的硅片；另外硅片輸送線還將裝有鍍完膜的硅片的石墨舟輸送走；其中轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備在將中轉(zhuǎn)石墨舟中的鍍完膜的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)到硅片輸送線上的石墨舟前，還需要通過(guò)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備或者人工來(lái)判斷中轉(zhuǎn)石墨舟中鍍完膜的硅片是否合格。
提供了一種硅片搬運(yùn)設(shè)備，包括安裝板、固定裝置、第一驅(qū)動(dòng)裝置和硅片取放裝置；安裝板的頂面對(duì)稱安裝有兩個(gè)固定裝置，固定裝置用于固定中轉(zhuǎn)石墨舟；第一驅(qū)動(dòng)裝置與安裝板連接，被配置于帶動(dòng)安裝板旋轉(zhuǎn)；硅片取放裝置用于向固定裝置上的中轉(zhuǎn)石墨舟中放入硅片或者從固定裝置上的中轉(zhuǎn)石墨舟中取出硅片；包括兩條輸送線和兩個(gè)第二驅(qū)動(dòng)裝置，兩條輸送線的輸送方向平行設(shè)置；一個(gè)第二驅(qū)動(dòng)裝置與一條輸送線連接，被配置于帶動(dòng)輸送線沿與輸送方向水平垂直的方向往返運(yùn)動(dòng)；還包括緩存架，緩存架上設(shè)有至少兩個(gè)石墨舟支撐工位，石墨舟支撐工位在輸送線上方；還包括搬舟裝置，搬舟裝置用于將固定裝置上的中轉(zhuǎn)石墨舟搬運(yùn)到一條輸送線上，將另一條輸送線上的石墨舟搬運(yùn)到固定裝置上或者先搬運(yùn)到石墨舟支撐工位上然后再?gòu)氖郯徇\(yùn)工位搬運(yùn)到固定裝置上。
輸送板的頂面安裝有用于支撐中轉(zhuǎn)石墨舟的四個(gè)支撐滑輪，四個(gè)支撐滑輪呈長(zhǎng)方形分布，輸送板的頂面上還設(shè)有兩個(gè)分別用于定位中轉(zhuǎn)石墨舟的前側(cè)面和后側(cè)面的定位滑輪組件，其中一個(gè)定位滑輪組件與滑輪伸縮動(dòng)力裝置的伸縮端連接，滑輪伸縮動(dòng)力裝置的固定端安裝在輸送板的頂面上；輸送板的頂面上還安裝有海綿墊，海綿墊在兩個(gè)定位滑輪組件之間。
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