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低溫壓電掃描臺(tái)是一種高精度、高穩(wěn)定性的精密定位設(shè)備，是一種利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，在低溫環(huán)境下進(jìn)行精密定位與掃描的設(shè)備。它能夠在低溫、真空及磁場(chǎng)等*端條件下提供納米級(jí)的高精度定位和運(yùn)動(dòng)控制，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、高精密測(cè)試和操作以及其他真空無磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等領(lǐng)域。
本公司提供的低溫壓電掃描臺(tái)Scanner16-xy的參數(shù)：
1、緊湊的設(shè)計(jì)，外形尺寸：16 * 16 * 7 mm
2、超高真空 & 極低溫兼容：2 E-11 mbar & 30 mK
3、無磁材料 純Ti & BeCu組成，兼容 35 Tesla磁場(chǎng)
4、高負(fù)載：100 g
5、行程@300 K：30*30 um
6、空間掃描達(dá)到 0.8 nm 分辨率
低溫壓電掃描臺(tái)在半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、高精密測(cè)試和操作等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如，在半導(dǎo)體加工中，它可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精確切割和定位；在半導(dǎo)體檢測(cè)中，它可以提供高精度的掃描和測(cè)量；在高精密測(cè)試和操作中，它可以實(shí)現(xiàn)微小尺度的精密操控。
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