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用于氣相分解的VPDBOX的技術參數(shù)
VPD BOX特點
●該設備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態(tài)下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。
●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。
●請與半自動收集裝置SC系列配合使用。
規(guī)格參數(shù)
| 裝置名 | VPDBOX-200-1M | VPDBOX-300-1M |
| 最大處理張數(shù) | 1 件 | 1 件 |
| 外形(W×D×H)(mm)(※1) | 290×290×250 | 390×390×250 |
| 重量 | 6公斤 | 8公斤 |
| 使用場所 | 干凈的草案里面 | 干凈的草案里面 |
| 外部資源 | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） |
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