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目前，我國(guó)集成電路用半導(dǎo)體光刻膠尤其是高端產(chǎn)品仍高度依賴進(jìn)口。高端半導(dǎo)體光刻膠對(duì)于實(shí)現(xiàn)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的安全自主可控至關(guān)重要。高端光刻膠的國(guó)產(chǎn)替代已成為整個(gè)行業(yè)的迫切需求和重點(diǎn)支持的核心項(xiàng)目。但半導(dǎo)體光刻膠的研發(fā)和生產(chǎn)存在著技術(shù)門檻高、保密性強(qiáng)的特點(diǎn)，并涉及復(fù)雜的化學(xué)合成和純化、配方調(diào)配和質(zhì)量控制等多個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)。其中，從半導(dǎo)體光刻膠的組分原料到成品的表征及雜質(zhì)分析均對(duì)高端光刻膠的研發(fā)有著重要的指導(dǎo)意義，因此，加強(qiáng)對(duì)半導(dǎo)體光刻膠組分原料的研究，對(duì)光刻膠的國(guó)產(chǎn)化至關(guān)重要。
半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)進(jìn)程的重要指標(biāo)
組分原料的研究、合成與驗(yàn)證
不同的應(yīng)用場(chǎng)景，需要不同種類的光刻膠，進(jìn)而涉及到更多類型和規(guī)格的原料。因此準(zhǔn)確的分析方法對(duì)于確保光刻膠的質(zhì)量達(dá)到半導(dǎo)體的要求至關(guān)重要，同時(shí)還可以為合成工藝提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)保證，并有效地指導(dǎo)生產(chǎn)工藝的進(jìn)步。
成品產(chǎn)量的驗(yàn)證
目前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠面臨的技術(shù)瓶頸之一是批次穩(wěn)定性的問題。不同批次間產(chǎn)品的物理化學(xué)性能差異會(huì)導(dǎo)致成品質(zhì)量不穩(wěn)定，因此在光刻膠成品階段分析測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性極為重要。
半導(dǎo)體光刻膠解決方案總結(jié)
國(guó)內(nèi)廠商正在積極布局光刻膠及其上游材料供應(yīng)鏈，力求打破“卡脖子”的技術(shù)瓶頸。一些公司在中低端制程如 g 線、i 線光刻膠方面已經(jīng)取得了一定的國(guó)產(chǎn)化成果。安捷倫半導(dǎo)體光刻膠分析解決方案是基于半導(dǎo)體光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈，從原料到光刻膠成品的質(zhì)量管控體系。該解決方案全面覆蓋了半導(dǎo)體光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈。通過先進(jìn)的分析技術(shù)和精密的儀器設(shè)備，實(shí)現(xiàn)對(duì)原料和光刻膠成品的關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行全面而精確的評(píng)估與監(jiān)控；可以幫助光刻膠生產(chǎn)廠商提升生產(chǎn)效率，降低不良率。安捷倫通過深厚的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和不斷創(chuàng)新的技術(shù)能力，為半導(dǎo)體用光刻膠的質(zhì)量控制樹立了新的標(biāo)桿。
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