手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
磁控濺射儀廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、表面工程以及微電子等領(lǐng)域。它的工作原理基于高能粒子轟擊靶材，使靶材原子或分子濺射并沉積在基體上，形成一層薄膜。磁控濺射儀以其高效、均勻且可控的濺射過(guò)程，成為了制備高質(zhì)量薄膜材料的**工具。
磁控濺射儀的核心部分包括真空室、濺射電源、靶材、基體以及磁場(chǎng)控制系統(tǒng)等。在濺射過(guò)程中，靶材被放置在陰極上，基體則置于陽(yáng)極附近。當(dāng)電場(chǎng)施加于陰極和陽(yáng)極之間時(shí)，電子在電場(chǎng)作用下加速并飛向靶材。在這個(gè)過(guò)程中，電子與氬原子發(fā)生碰撞，產(chǎn)生Ar正離子和新的電子。Ar正離子在電場(chǎng)作用下高速轟擊靶材表面，使靶材原子或分子獲得足夠的能量而脫離靶材表面，形成濺射粒子。這些濺射粒子隨后沉積在基體上，形成所需的薄膜。
磁場(chǎng)控制系統(tǒng)在磁控濺射儀中發(fā)揮著重要的作用。通過(guò)調(diào)整磁場(chǎng)分布，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)電子運(yùn)動(dòng)軌跡的控制，從而增強(qiáng)靶材表面的等離子體密度和濺射效率。環(huán)形磁場(chǎng)是一種常見的磁場(chǎng)配置方式，它使得電子在靶材表面附近做圓周運(yùn)動(dòng)，延長(zhǎng)了電子在等離子體區(qū)域內(nèi)的運(yùn)動(dòng)路徑，增加了電子與氬原子的碰撞幾率，進(jìn)而提高了濺射速率和薄膜質(zhì)量。
磁控濺射儀具有多種優(yōu)點(diǎn)，如濺射速率高、薄膜質(zhì)量好、基體溫度低以及易于控制等。這使得它在制備金屬、絕緣體以及半導(dǎo)體等材料方面具有廣泛的應(yīng)用前景。通過(guò)調(diào)整濺射條件，如濺射功率、濺射時(shí)間以及氣體氛圍等，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜成分、厚度以及性能的準(zhǔn)確控制。
在材料科學(xué)研究領(lǐng)域，磁控濺射儀可用于制備各種新功能材料，如超導(dǎo)材料、磁性材料以及光學(xué)薄膜等。通過(guò)優(yōu)化濺射參數(shù)和選擇合適的靶材，可以制備出具有特定性能和結(jié)構(gòu)的薄膜材料，為材料性能的優(yōu)化和新材料的開發(fā)提供有力支持。在微電子領(lǐng)域，磁控濺射儀同樣發(fā)揮著重要作用，可用于制備集成電路中的金屬化層、接觸層以及絕緣層等，通過(guò)準(zhǔn)確控制薄膜的成分和厚度，可以提高微電子器件的性能和可靠性。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心