真空熱壓燒結(jié)爐是一種用于高性能材料加工的先進設備,廣泛應用于半導體、陶瓷和金屬材料等領(lǐng)域。由于其復雜的結(jié)構(gòu)和高溫高壓的工作環(huán)境,真空熱壓燒結(jié)爐在日常運行中可能會遇到各種緊急情況。為了確保設備的安全穩(wěn)定運行,必須制定詳細的應急措施。以下是針對真空熱壓燒結(jié)爐日常應急措施的描述:
1. 冷卻水異常
- 確認加熱電源已停止:當發(fā)現(xiàn)冷卻水異常時,第一步應立即確認并停止加熱電源,以防止設備過熱。
- 采取應急措施保證水量:如果冷卻水量不足,應盡快采取措施補充水量,保持真空狀態(tài)。如果不能及時處理,則保持設備原狀,等待自然冷卻。
- 接通緊急用冷卻水:在高溫狀態(tài)下(超過200℃),如果冷卻水停止,應立即接通緊急冷卻水,防止水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵被損壞。
2. 壓縮空氣停止
- 恢復壓縮空氣供應:當壓縮空氣異常報警時,應迅速到備用的壓縮機房,恢復壓縮空氣供應。
- 終止真空讓設備停下:如果壓縮空氣恢復需要較長時間,應終止真空,讓設備停下來,避免設備在無壓縮空氣的情況下繼續(xù)運行。
3. 停電
- 接通備用冷卻水:停電時,首先檢查是否斷水。如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,保證水源供應。
- 根據(jù)情況重新啟動或保持原狀:在非升溫、加熱和冷卻階段,如果電力能夠盡快恢復,可以重新啟動設備繼續(xù)運行;如果需要較長時間恢復,則將設備保持原狀。
- 自然冷卻:如果在加熱和冷卻階段停電,且短時間內(nèi)無法恢復電力,應保持設備原狀,讓其自然冷卻下來。
4. 加熱電源掉電
- 檢查水壓和接地故障:當加熱電源掉電時,首先檢查水壓是否低于0.15MPa以及是否存在接地故障。
- 處理真空放電問題:如果爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa,可能是由于電介質(zhì)擊穿引起的放電。此時應檢查水冷電極接頭與加熱器的連接是否牢固,并確保與反射屏絕緣良好。
5. 充氣氣體停止
- 確認氣體管路是否堵塞:抽真空開始前,如果氣體充入時間長或者無法充入,應先確認氣體管路是否被堵塞。
- 檢查電磁閥及充氣閥動作:如氣體管路沒有問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作是否正常。必要時,停止相關(guān)聯(lián)的設備進行檢查。
- 關(guān)閉氣體系統(tǒng):如果向真空室內(nèi)充氣不能停止,泄壓閥動作時,要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
- 檢查是否有漏氣:確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質(zhì)量。
6. 真空室壓力惡化
- 停止設備進行檢查:當真空排氣時間比通常長時,應把設備停下來進行檢查,通過壓力上升測試或用氦氣檢漏來確認是漏氣還是放氣的影響。
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