1、為什么要檢漏
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進或流出這個空間,如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備,在投入使用前,就要*行檢漏,使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏檢查。
2、泄漏程度的量化
容器泄漏程度的量化,用泄漏率來表示。漏率的定義
其中:△P 為壓強的變化量
V為容器的體積
△t為時間的變化量
3、氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏技術是真空檢漏領域里*的一種技術,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中zui常用的兩種方法。
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