N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 日立科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/8/23 11:00:20
- 訪問(wèn)次數(shù) 2630
產(chǎn)品標(biāo)簽
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N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng) 特點(diǎn)
- 適用于90-65-45-(32)nm制造工藝。
- 冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,在較低加速電壓條件下具有更好的分辨率。
- 確保圖像位移量為±100μm,無(wú)需移動(dòng)樣品臺(tái)也可實(shí)現(xiàn)寬范圍的檢測(cè)。
- 具備雙馬達(dá)臺(tái)機(jī)構(gòu)-探針馬達(dá)臺(tái)和樣品馬達(dá)臺(tái),操作簡(jiǎn)單舒適。
- 的探針頭交換倉(cāng),可順暢而迅速地交換探針頭。使操作舒適而直觀。
- 上面和側(cè)面兩個(gè)CCD攝像頭,用于探針對(duì)中。
N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng) 技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 描述 | |
探針單元 | 探針單元數(shù)量 | 6(zui多) |
驅(qū)動(dòng)方法 | 壓電式 | |
精調(diào)范圍 | 5μm(X,Y軸) | |
粗調(diào)范圍 | 5mm(X,Y軸) | |
探針頭交換 | 氣鎖交換室 | |
樣品臺(tái) | 位置檢測(cè) | 光學(xué)線性量規(guī) |
樣品尺寸 | 15mm x 15mm x 1mm 或更薄 | |
行程范圍 | ±7.5 mm(X, Y軸) | |
樣品交換 | 氣鎖樣品交換倉(cāng) | |
探針鏡臺(tái) | 行程范圍 | 每個(gè)位置 ±5 mm |
行程位置 | 檢測(cè)/樣品交換/探針大致對(duì)中齊/探針交換 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 冷場(chǎng)電子發(fā)射源 |
加速電壓 | 0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV) | |
圖像位移 | ±100μm 或更長(zhǎng)(2 kV,WD=15 mm) | |
EBAC放大器(*) | 電流放大器,差分放器 | |
圖像顯示 | 掃描電子顯微鏡/ EBAC(*)(單一/平行/覆蓋),上面和側(cè)面CCD攝像頭 | |
真空系統(tǒng) | 自動(dòng)系統(tǒng) | |
顯示器 | 液晶顯示器 |
外形尺寸和重量
項(xiàng)目 | (W)x(D)x(H) | 重量 |
鏡筒單元 | 1,190 x 1,377 x 1,605mm | 780kg |
顯示單元 | 1,000 x 960 x 1,200mm | 205kg |
EBAC單元(*) | 600 x 1,000 x 1,760mm | 150kg |
安裝條件
項(xiàng)目 | 描述 | |
室溫 | 15~25 | |
濕度 | 60% RH(相對(duì)濕度)或更低 | |
電源 | 單相 AC100V±10%, 5kVA | |
接地 | D級(jí)(100 或更?。?/td> |
(*):選購(gòu)件
可選購(gòu)附件
- 高分辨率修正
- 樣品加熱臺(tái)
- 機(jī)械卡盤架
- 單元計(jì)數(shù)功能
- CAD導(dǎo)航系統(tǒng)(故障分析導(dǎo)航系統(tǒng))