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          產(chǎn)品展廳

          產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會(huì)展

          發(fā)布詢價(jià)單
          日立分析儀器(上海)有限公司

          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>光譜>熒光分光光度計(jì)(FLUORO)> 微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000

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          微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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            日立高新技術(shù)集團(tuán)的企業(yè)理念是“以成為先端技術(shù)領(lǐng)域里提供高科技解決方案的*為目標(biāo)”。在這個(gè)理念的指引下,將電子裝置系統(tǒng)、生命科學(xué)系統(tǒng)、信息電子系統(tǒng)、*產(chǎn)業(yè)材料系統(tǒng)等各個(gè)事業(yè)部門的“先端技術(shù)”推向世界的Z前線。

            為了應(yīng)對日新月異的技術(shù)革新和需求的多樣化,達(dá)成事業(yè)的化,日立高新技術(shù)集團(tuán)同時(shí)具有用先端技術(shù)開發(fā)制造新產(chǎn)品的制造功能和向提供優(yōu)化解決方案的貿(mào)易公司機(jī)能,是一家在先端科技領(lǐng)域里向*更快、更好地提供產(chǎn)品和服務(wù)的性企業(yè)。

            日立高新技術(shù)集團(tuán)Z重視的是在中國地區(qū)的事業(yè)戰(zhàn)略。我們在上海、北京、深圳、香港設(shè)立了獨(dú)資公司,這些地方分公司在中國的11個(gè)地區(qū)設(shè)有銷售和技術(shù)服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)。同時(shí)在蘇州和大連還設(shè)有生產(chǎn)基地。日立高新技術(shù)集團(tuán)不但支持中國電子產(chǎn)業(yè)和高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的半導(dǎo)體制造,而且提供各種解析設(shè)備,LCD制造和檢查設(shè)備,芯片貼裝設(shè)備等。在保障人民安全和健康的科學(xué)醫(yī)療領(lǐng)域,還提供各種解析、分析儀器及應(yīng)用相關(guān)系統(tǒng)等*開發(fā)產(chǎn)品和相應(yīng)的優(yōu)質(zhì)且完善的售后服務(wù)。此外,日立高新技術(shù)集團(tuán)從中國各地向*提供支持電子、高科技、汽車產(chǎn)業(yè)、環(huán)境和節(jié)能技術(shù)的各種新功能材料的采購解決方案,通過靈活利用網(wǎng)絡(luò)和其貿(mào)易公司功能,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)造附加價(jià)值的事業(yè)模式。

            日立高新技術(shù)中國實(shí)業(yè)集團(tuán)作為被大家所信賴的企業(yè),在遵紀(jì)守法的同時(shí),力爭創(chuàng)造新的價(jià)值,以“客戶*位為根本”開展工作,探求持續(xù)性發(fā)展,通過營銷活動(dòng)為中國的高科技產(chǎn)業(yè)、環(huán)境及能源事業(yè)、社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施的安全、人民健康等方面的發(fā)展,不斷地做著積極的貢獻(xiàn)。衷心希望今后也能夠繼續(xù)得到大家的支持和厚愛。

          熒光光譜,質(zhì)譜,液相色譜

          微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000 特點(diǎn)

          • 采用日立技術(shù)的高效電子束吸收電流表征放大器,生成優(yōu)質(zhì)電子束吸收電流表征圖像。
          • 直觀的圖形用戶界面,具有各種圖像和顏色處理功能。
          • 具有現(xiàn)場考驗(yàn)實(shí)績,低色差,低加速電壓下成像所需的冷場發(fā)射電子槍,減小電路的電子束損傷。
          • 高精度納米探測裝置。
          • 通過樣品室內(nèi)CCD相機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)探測位置的初始定位。


          電子束吸收電流表征技術(shù)提供了一種快速,有效地識別內(nèi)部連接開路,高電阻以及短路的方法,無需低平層的直接探測技術(shù)。EBAC技術(shù)利用電子束穿過絕緣層,使低位的金屬層吸收電子束電流。
          通過場發(fā)射掃描電子顯微鏡的加速電壓,控制電子束穿透電介質(zhì)層的探測深度。單個(gè)探針放置于外露的上層金屬薄膜上,形成閉合回路,以便電子流過連接線。使用兩個(gè)探針和日立技術(shù)的差動(dòng)電子束吸收電流表征放大器,可產(chǎn)生賽貝克效應(yīng),從而觀察高電阻和短路情況。

           

          應(yīng)用數(shù)據(jù)(Renesas電子公司樣品)


          采用彩色顯示功能,對4層鋁質(zhì)連接線進(jìn)行電子束吸收電流表征成像。
          *電流放大器圖像

           

          微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000 規(guī)格

          日立

          探測裝置
          裝置編號 4
          驅(qū)動(dòng)方法 壓電式
          微動(dòng)行程范圍 5μm (X,Y)
          粗動(dòng)行程范圍 6mm (X,Y)
          樣品臺(tái)/基座臺(tái)
          樣品尺寸 25mm × 25mm × 1mm 厚或更薄
          橫向位置 測量/樣品交換位置
          樣品交換 氣鎖交換室
          探針導(dǎo)航 樣品臺(tái)平移探針定位
          測量位置記憶
          探針粗調(diào)
          CCD圖像顯示 橫向圖像顯示
          電子光學(xué)
          電子槍 場發(fā)射電子源
          加速電壓 0.5kV to 30kV
          分辨率 15nm (2kV,工作距離為15mm)
          圖像移動(dòng) ±150μm (2kV,工作距離為15mm)
          電子束吸收電流放大器/圖像顯示
          放大器類型 電流放大器/差動(dòng)放大器
          圖像顯示 SEM/EBAC(單一/并列/疊加)
          圖像處理 黑白反轉(zhuǎn)顯示,彩色顯示,亮度調(diào)節(jié),積分慢掃描,層區(qū)掃描


           

          尺寸與重量

          主機(jī) 1,100(W)× 1,550(D)× 1,750(H)mm,
          850kg
          顯示裝置 1,000(W)× 1,005(D)× 1,200(H)mm,
          265kg

          安裝環(huán)境要求

          室溫 15至25 ºC
          濕度 相對濕度不高于60%
          電源 AC100V±10% 5kVA (M5接線端子)
          接地電阻 不高于100Ω
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