微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 日立科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2016/8/25 0:47:35
- 訪問次數(shù) 1957
產(chǎn)品標(biāo)簽
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微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000 特點(diǎn)
- 采用日立技術(shù)的高效電子束吸收電流表征放大器,生成優(yōu)質(zhì)電子束吸收電流表征圖像。
- 直觀的圖形用戶界面,具有各種圖像和顏色處理功能。
- 具有現(xiàn)場考驗(yàn)實(shí)績,低色差,低加速電壓下成像所需的冷場發(fā)射電子槍,減小電路的電子束損傷。
- 高精度納米探測裝置。
- 通過樣品室內(nèi)CCD相機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)探測位置的初始定位。
電子束吸收電流表征技術(shù)提供了一種快速,有效地識別內(nèi)部連接開路,高電阻以及短路的方法,無需低平層的直接探測技術(shù)。EBAC技術(shù)利用電子束穿過絕緣層,使低位的金屬層吸收電子束電流。
通過場發(fā)射掃描電子顯微鏡的加速電壓,控制電子束穿透電介質(zhì)層的探測深度。單個(gè)探針放置于外露的上層金屬薄膜上,形成閉合回路,以便電子流過連接線。使用兩個(gè)探針和日立技術(shù)的差動(dòng)電子束吸收電流表征放大器,可產(chǎn)生賽貝克效應(yīng),從而觀察高電阻和短路情況。
應(yīng)用數(shù)據(jù)(Renesas電子公司樣品)
采用彩色顯示功能,對4層鋁質(zhì)連接線進(jìn)行電子束吸收電流表征成像。
*電流放大器圖像
微小器件特性評價(jià)裝置nanoEBAC NE4000 規(guī)格
日立
探測裝置 | |
裝置編號 | 4 |
驅(qū)動(dòng)方法 | 壓電式 |
微動(dòng)行程范圍 | 5μm (X,Y) |
粗動(dòng)行程范圍 | 6mm (X,Y) |
樣品臺(tái)/基座臺(tái) | |
樣品尺寸 | 25mm × 25mm × 1mm 厚或更薄 |
橫向位置 | 測量/樣品交換位置 |
樣品交換 | 氣鎖交換室 |
探針導(dǎo)航 | 樣品臺(tái)平移探針定位 |
測量位置記憶 | |
探針粗調(diào) | |
CCD圖像顯示 | 橫向圖像顯示 |
電子光學(xué) | |
電子槍 | 場發(fā)射電子源 |
加速電壓 | 0.5kV to 30kV |
分辨率 | 15nm (2kV,工作距離為15mm) |
圖像移動(dòng) | ±150μm (2kV,工作距離為15mm) |
電子束吸收電流放大器/圖像顯示 | |
放大器類型 | 電流放大器/差動(dòng)放大器 |
圖像顯示 | SEM/EBAC(單一/并列/疊加) |
圖像處理 | 黑白反轉(zhuǎn)顯示,彩色顯示,亮度調(diào)節(jié),積分慢掃描,層區(qū)掃描 |
尺寸與重量
主機(jī) | 1,100(W)× 1,550(D)× 1,750(H)mm, 850kg |
顯示裝置 | 1,000(W)× 1,005(D)× 1,200(H)mm, 265kg |
安裝環(huán)境要求
室溫 | 15至25 ºC |
濕度 | 相對濕度不高于60% |
電源 | AC100V±10% 5kVA (M5接線端子) |
接地電阻 | 不高于100Ω |