高溫雙電測四探針方阻測試儀使用說明

高溫電阻率測試系統(tǒng) 采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征

高溫雙電測四探針方阻測試儀

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結(jié)果）

10. zui高溫度： 1200℃可調(diào)節(jié)；沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C

11、升溫速度：9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃；功率：3kw.

12、爐膛材料：采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征。

13.測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！

高溫雙電測四探針方阻測試儀使用說明

適用行業(yè)：

用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數(shù)據(jù).

操作步驟及流程

5.1.本機可以依據(jù)不同測試產(chǎn)品選擇配置不同的測試治具，以下舉例操作說明

5.1.1.在開機界面按下按鍵板上的“顯示”鍵，進入測量界面。如圖1

5.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側(cè)有4個藍色功能按鍵，當測材料電阻率時，請選擇 “材料”按鍵 ，進入材料測試主界面.  

5.1.3.在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動藍色光標選擇相應(yīng)的參數(shù)。如圖2，將移動到某一參數(shù)的位置，按下“設(shè)置”鍵，光標將變?yōu)樯钏{色。此時通過上下左右鍵和數(shù)字鍵可以對相應(yīng)的參數(shù)進行設(shè)置，設(shè)置完畢后按“確定”鍵返回。

5.1.4.如圖3接線方式，把主機與夾具連接線，連接好并固定住，

5.1.5.取試樣，試樣試驗前的處理依據(jù)標準進行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內(nèi)，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個接口與探頭接線位置連接，后，放入被測樣品，輸入高度數(shù)據(jù)（為探針之間的間距），其他數(shù)據(jù)為樣品本身尺寸。

5.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測樣品表面，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀數(shù).

5.1.8. 按下“放大”鍵對應(yīng)的按鍵可以對當前界面的測量數(shù)據(jù)進行放大

5.1.9. 待參數(shù)設(shè)置完畢，開始測量，把測試獲得的數(shù)據(jù)寫入試驗報告中

5.1.10.以下設(shè)置和功能屬于配置操作軟件機型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請勿設(shè)置.

5.1.11.接口：可選擇“USB”和“232”兩種模式。根據(jù)用戶使用的接口類型進行選擇。

測試功能：可選擇：“RρK”（顯示電阻，電阻率，電導率），“R”（只顯示電阻），“ρ”（只顯示電阻率，“K”（只顯示電導率）3種顯示模式。

4.5.高溫四探針治具及樣品放置操作

4.5.1通過升降平臺降旋轉(zhuǎn)手柄將高溫四探針治具從高溫箱體升起至箱體外部，并通過旋轉(zhuǎn)手柄旁邊的鎖扣，固定住四探針高溫平臺；注意操作時，在鎖住平臺時，手不能松開旋轉(zhuǎn)手柄，鎖扣一定要鎖牢固，以防平臺快速下滑而損傷.

4.5.2.將準備好的試樣放置在測試平臺上，并分別旋轉(zhuǎn)四根探針固定旋鈕，至探針與樣品接觸即可，注意：探針與樣品接觸即可，不得接觸后在用力旋轉(zhuǎn)探針，可能會壓迫樣品或者損壞探針.

4.5.3.將固定好樣品的四探針平臺下降至高溫箱體中，松開鎖扣時，手握住旋轉(zhuǎn)手柄，慢慢旋轉(zhuǎn)至四探針平臺*與高溫箱體吻合即可，并使用螺絲固定住平臺板的四腳，注意：螺絲只需要相對固定即可，不需要大力鎖死，平臺本身有足夠的重量，故輕微鎖住平臺板.

4.5.4.在設(shè)定好的電阻率測試儀及高溫溫度后，在軟件設(shè)定所需要設(shè)定參數(shù)數(shù)據(jù)，即可.

4.5.5.PC軟件的操作說明與軟件配套在一起，在軟件安裝后可以在軟件包解壓后查看閱讀.