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          POLOS450 SPIN勻膠機(jī)POLOS

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
          • 品牌 其他品牌
          • 型號(hào) POLOS450
          • 產(chǎn)地 德國(guó)
          • 廠商性質(zhì) 代理商
          • 更新時(shí)間 2024/5/16 16:38:27
          • 訪問次數(shù) 3979

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          半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。



          勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板

          產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子

          1  SPIN勻膠機(jī)POLOS450勻膠機(jī)工作原理:

          勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

          2、SPIN勻膠機(jī)POLOS勻膠機(jī)型號(hào)及技術(shù)參數(shù)如下:

          型號(hào)

          SPIN150i

          SPIN200i

          POLOS300

          POLOS450

          POLOS600

          基片范圍

          直徑160mm or 4?方片

          直徑260mm or 6?方片

          直徑360mm or 8?方片

          直徑460mm or 350mm方片

          直徑600mm or 430mm方片

          程序段數(shù)

          無限制

          無限制

          無限制

          無限制

          30個(gè)程序

          操作步數(shù)

          無限制

          無限制

          無限制

          無限制

          90個(gè)步驟

          旋轉(zhuǎn)速度

          0-12,000 rpm ±1rpm steps

          0-12,000 rpm ±1rpm steps

          0-12,000 rpm ±1rpm steps

          0-1500rpm ±1rpm steps

          0-1,500 rpm ±1rpm steps

          旋轉(zhuǎn)精度

          ±0.1 rpm

          ±0.1 rpm

          ±0.1 rpm

          ±0.1 rpm

          ±0.1 rpm

          旋轉(zhuǎn)方向

          順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

          順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

          順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

          順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

          順時(shí)針、逆時(shí)針

          加速度

          30,000 rpm/sec

          30,000 rpm/sec

          30,000 rpm/sec

          1500rpm時(shí)取決于負(fù)載

          500 rpm/sec

          旋轉(zhuǎn)時(shí)間

          無限制*,± 0.1 seconds steps

          無限制*,± 0.1 seconds steps

          無限制*,± 0.1 seconds steps

          無限制*,± 0.1 seconds steps

          1 to 999 sec/step

          腔體直徑

          202 mm

          302 mm

          402 mm

          502 mm

          642mm

          外形尺寸

          (w*h*d )

          274 x 250 x 451 mm

          380 x 307 x 559mm

          430 x 310 x 650mm

          795 x 638 x 922mm

          800 x 1,450 x 1,650mm

          觸屏控制

          全彩觸屏控制

          全彩觸屏控制

          全彩觸屏控制

          全彩觸屏控制

          全彩觸屏控制

          設(shè)備重量

          14Kg

          20Kg

          32Kg

          75Kg

           

          電源參數(shù)

          220V,50/60 Hz

          220V,50/60 Hz

          220V,50/60 Hz

          220V,50/60 Hz

          220V,50/60 Hz

          三、勻膠機(jī)的特點(diǎn):

          1、該勻膠機(jī)采用德國(guó)*技術(shù):
          2、勻膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì),這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
          3、勻膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調(diào)整墊,可保障主軸具有較高的精度。
          4、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
          5、勻膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié),與配套真空泵一同使用。



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