EMS 975 高真空蒸鍍鍍膜儀（樣本制備）
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) EMS 975
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/5/10 17:03:40
- 訪問次數(shù) 1437
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EMS 975高真空蒸鍍鍍膜儀（樣本制備）（Large Chamber Turbo Evaporator）
高真空蒸鍍鍍膜儀（樣本制備）碳棒頭的模式化設(shè)計(jì)，極大地增加了用途，使用起來(lái)更方便靈活，新方法可準(zhǔn)備新的樣品。多用途設(shè)計(jì)，它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜，以及SEM中的導(dǎo)電涂層。
EMS975，可以進(jìn)行碳、金屬的蒸鍍和濺射鍍膜的選擇?？梢灾苽涮贾С帜?、TEM的覆膜、碳/金屬蒸鍍等等。
渦輪分子泵在EMS975中作為標(biāo)準(zhǔn)配置，此泵作為機(jī)械真空泵的后級(jí)泵，真空為全自動(dòng)控制,可以達(dá)到蒸鍍需要的較高真空度。
特點(diǎn):
- 分子渦輪泵
- 全自動(dòng)抽氣系統(tǒng)
- 潔凈真空
- 可變的出氣控制
- 脈沖蒸發(fā)按鈕
- 碳棒頭在儀器中作為標(biāo)準(zhǔn)件，這是一個(gè)“快速釋放頭”
- 樣品抽屜放置系統(tǒng)
- 碳和碳/鉑蒸鍍
- 方便多用戶操作
優(yōu)點(diǎn)：
- 容易操作
- 均勻的樣品涂層
- 碳棒或碳絲蒸發(fā)
- 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
- 菜單驅(qū)動(dòng)式鍵盤輸入
- 快速釋放頭方便選擇不同的頭
- 約束的排氣控制
儀器參數(shù)：
儀器尺寸 | 450mm W x 350mm D x 175mm H |
重量 | 28Kg |
工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃165mm Dia x 125mm H |
安全鐘罩 | 聚碳酸酯 |
碳 源 | 直徑3.2mm碳棒 |
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) | 直徑為60 mm，傾斜0-45o |
真空計(jì)范圍 | ATM - 1x10-5 mbar |
操作真空 | 1x10-2 to 1x10-5 mbar |
安培計(jì) | 0-50 Amps |
低電壓選擇 | 0-5V-15V-25V，除氣電流，0-25 Amps |
渦輪分子泵 | 100L/Second，需要一個(gè)50L/m旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵 |
電源 | 230V 50Hz (包括泵zui大電流8 安培) |
另：EMS 975S半導(dǎo)體晶圓高真空蒸發(fā)鍍膜儀，主體就是EMS 975，特別之處在于可蒸鍍8英寸晶圓），或者是達(dá)到140mm x 140mm樣本大小的樣本。
訂購(gòu)信息：
貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 |
91090 | EMS 975 Large Chamber Turbo Evaporator complete with carbon source |
91090-S | EMS 975S Turbo Evaporator for Semi Conductor Wafer Coating |
91005 | Rotary Vacuum Pump needed to backup the turbo pump |
耗材和替換件訂購(gòu)：
貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 |
91077 | Carbon Rods (6.15mm Dia.), 12/pack |
91033 | Glass Cylinder |
91034 | "L" Gaskets |
91004-S | EMS 105 Aperture Cleaning Head |
92060 | EMS 190 Low Angle Shadowing |
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