SC100-SE 標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)
- 公司名稱 北京銘成基業(yè)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SC100-SE
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/21 18:09:25
- 訪問(wèn)次數(shù) 1803
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類型 | 其他 | 切刀 | 其他 |
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樣式 | 其他 |
產(chǎn)品介紹:
名 稱:高精密勻膠機(jī)
型 號(hào):SC100-SE
原產(chǎn)地:美國(guó),USA
應(yīng) 用:SC100-SE標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
產(chǎn)品概述:
SC100-SE標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。
性能參數(shù):
l 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
l 旋涂程序:zui多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒
l 轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
l 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
l 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm
l 重復(fù)性< 1rpm
l 工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step
l 時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)
l 旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)
產(chǎn)品特點(diǎn):
l 的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。
l 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
l on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
l 標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
l 采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
l 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。
l 排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部(以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
l 透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
產(chǎn)品外型尺寸:
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)