上海洪柯自動(dòng)化儀表有限公司所生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC/氣體微流量流量計(jì)流量控制器/小流量氣體流量計(jì)流量控制器/帶控制功能的氣體流量計(jì)/分體型氣體質(zhì)量流量控制器/帶調(diào)節(jié)功能的氣體質(zhì)量流量計(jì)/一體化顯示氣體質(zhì)量流量計(jì)/數(shù)字式液晶顯示氣體質(zhì)量流量計(jì)流量控制器/高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)流量控制器/耐溫100℃分體型氣體質(zhì)量流量計(jì)//高溫型氣體質(zhì)量流量控制器/高溫型氣體質(zhì)量流量計(jì)/耐溫100度/小流量氣體流量計(jì)/微流量氣體流量計(jì)/小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)/微流量氣體質(zhì)量流量計(jì)/微流量氣體流量控制器/高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)/高壓氣體質(zhì)量流量控制器/高壓氣體流量計(jì)/高壓氣體流量控制儀/高壓流量控制儀

上海洪柯自動(dòng)化儀表有限公司推出的D系列氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass flow meter，簡稱MFM）/氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）用于測(cè)量/控制微小流量氣體流量。微流量氣體流量計(jì)/控制器小量程為0-2SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘)，大量程為0-2000SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)，具有精度高、重復(fù)性好、量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)，在半導(dǎo)體集成電路、特種材料、石化、醫(yī)藥、真空等領(lǐng)域,廣泛用于鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體采樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器，也可以用在各類實(shí)驗(yàn)室作為流量檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)。

氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC工作原理
氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構(gòu)成，用于測(cè)量潔凈氣體流量。
氣體質(zhì)量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個(gè)部件外，還有一個(gè)流量調(diào)節(jié)閥及PID控制電路，它不但可以測(cè)量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量計(jì)）時(shí)，大部分氣體通過分流器，小部分氣體流過流量傳感器。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，并將流量傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器進(jìn)行線性化處理，輸出與瞬時(shí)流量成正比的電壓信號(hào)0-5VDC。放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅(qū)動(dòng)控制閥門，PID閉環(huán)控制，使流過通道的氣體流量與設(shè)定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，氣體質(zhì)量流量計(jì)（氣體質(zhì)量流量控制器）能精確測(cè)量（控制）氣體流量。
因?yàn)闅怏w質(zhì)量流量計(jì)MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC測(cè)得的是氣體的質(zhì)量流量而不是體積流量，其質(zhì)量流量單位通常表示為SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）或SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）。