氣體質(zhì)量流量控制器MFC/MFM
- 公司名稱 上海洪柯自動(dòng)化儀表有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2018/7/16 11:25:41
- 訪問次數(shù) 396
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上海洪柯自動(dòng)化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長等特點(diǎn)。
流量規(guī)格(N2): | (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM;(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM |
準(zhǔn)確度: | ±1%F.S. |
線性: | ±0.5%F.S. |
重復(fù)精度: | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間: | ≤1Sec |
工作壓差范圍: | (0.05~0.3)MPa |
大耐壓: | 10MPa |
工作環(huán)境溫度: | 5~65℃ |
電氣連接: | 8 Pin(Mini S Plug) |
輸入/輸出信號(hào) | Digital:RS232/RS485; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA |
電源: | 7~16VDC 1A;或24VDC500mA |
標(biāo)準(zhǔn)接頭: | Swagelokφ3,φ6,φ10…;Swagelok 1/8″,1/4″…; VCRφ3,φ6…;VCR 1/8″,1/4″… |
外形尺寸 | 130*28*121mm |
重量約 | 1.0kg
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