Solaris 150UV 快速退火爐
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Solaris 150UV
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/17 8:25:40
- 訪問次數(shù) 1848
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|
基于PID處理控制器的Solaris GUI可以存儲程序，每套程序可以支持高達(dá)100個(gè)步驟的設(shè)定，帶USB2.0的接口。包含Solaris GUI 軟件，與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件，通過鏈接電腦可以非常方便地實(shí)現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄。
技術(shù)規(guī)格：
- 溫度：1200攝氏度；
- 升溫速率：150攝氏度/秒；
- 溫控均勻性：±2.5℃設(shè)定溫度；
- 加熱方式：紅外鹵素?zé)簦敳考暗撞繀^(qū)域加熱；
- 處理時(shí)間：0.1秒至無*；
- 燈管數(shù)量及功率：13支，
- 腔體冷卻：風(fēng)冷方式；
- 襯底冷卻：氮?dú)獯祾撸?/span>
- 工藝氣路：MFC控制，多6路 (氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣?/span>)；
型號 | Solaris 100 | Solaris 150 | Solaris 150UV | Solaris 200 | Solaris Eclipse |
處理大樣品尺寸 | 100mm | 150mm | 150mm | 200mm | 200mm |
溫度(℃) | 室溫~1200℃/s | 室溫~1200℃/s | 室溫~1200℃/s | 室溫~1200℃/s | 室溫~1200℃/s |
工藝氣體 | 1~4路 | 1~6路 | 1~6路 | 1~6路 |
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紅外鹵素?zé)?/span> | 13支 | 21支 |
| 28支 |
|
紅外鹵素?zé)衾鋮s方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
溫度控制 | PID數(shù)控 | PID數(shù)控 | PID數(shù)控 | PID數(shù)控 | PID數(shù)控 |
溫度精度 | ±2℃ | ±2℃ | ±2℃ | ±2℃ | ±2℃ |
熱電偶 | K型熱電偶 | K型熱電偶 | K型熱電偶 | K型熱電偶 | K型熱電偶 |
臭氧功能 |
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| 有，蝕刻速率> 25-50A /min |
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機(jī)器外觀 | 臺式機(jī) | 臺式機(jī) | 臺式機(jī) | 臺式機(jī) | 臺式機(jī) |
應(yīng)用領(lǐng)域：
快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
硅化 (Silicidation);
擴(kuò)散 (Diffusion);
化合物半導(dǎo)體退火 (Compound Semiconductor Annealing);
離子注入后退火 (Implant Annealing);
電極合金化 (Contact Alloying);
晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);
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