等離子清洗機真空腔體的組成包括一個反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。把需要處理的樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi)，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動便產(chǎn)生等離子體，然后氣體通入到反應(yīng)腔室，使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng)，生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物，并由真空泵抽出。

（1）形成新的官能團--化學作用

如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學反應(yīng)，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

（2）對材料表面的刻蝕--物理作用

等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（3）鍵能，交聯(lián)，接枝作用
 

等離子清洗機產(chǎn)生的等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地了表面活性。

　　1、超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC 觸摸屏控制系統(tǒng)，的控制設(shè)備運行。

　　2、可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。

　　3、保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。

　　4、高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

    等離子清洗機真空腔體利用等離子高能粒子與材料表面發(fā)生物理和化學反應(yīng)，可以實現(xiàn)對材料表面進行激活、蝕刻、除污等工藝處理，以及對材料的摩擦因數(shù)、粘合和親水等各種表面性能進行改良的目的。最大特點是對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地處理，可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。真空等離子清洗設(shè)備已經(jīng)廣泛適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等客戶提供表面處理整體解決方案，幫助客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量、提升生產(chǎn)效率，同時降低對環(huán)境的不良影響。

本章出處“金鉑利萊”轉(zhuǎn)載請注明出處