設(shè)計(jì)的超級(jí)圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。

廣域掃描線圈可以得到低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。

電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。

JSM6510系列超級(jí)圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級(jí)圓錐形物。

外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下，樣品仍然可以大角度傾斜。

JEOL開(kāi)發(fā)的全自動(dòng)電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn)行觀察或成分分析。

電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無(wú)縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時(shí)調(diào)整偏壓，使得無(wú)論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到亮度。

JEOL*的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。

雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號(hào)圖像的對(duì)比，用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解樣品的成份分布情況。

選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊“PHOTO”按紐可同時(shí)獲得并存儲(chǔ)2或3幅全屏尺度圖像。

簡(jiǎn)單易懂的操作接口及菜單

操作接口簡(jiǎn)單，直觀，默認(rèn)的操作接口顯示了的功能按鈕，并以簡(jiǎn)單圖文標(biāo)明，點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作所有功能。

實(shí)時(shí)量測(cè)，圖片上的長(zhǎng)度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測(cè)量。

可變焦聚光鏡修正

做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí)，選擇合適束流非常重要，一般是通過(guò)聚光鏡與物鏡光闌來(lái)控制電子束流的。

如果在調(diào)整束流過(guò)程中，焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化很小，調(diào)整起來(lái)會(huì)比較方便。JEOL*的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。

全對(duì)中樣品臺(tái)

當(dāng)樣品臺(tái)傾斜時(shí)，全對(duì)中樣品臺(tái)可使圖像位移和焦點(diǎn)變化小。

使用此樣品臺(tái)可多方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過(guò)立體圖片觀察深度。

低真空SEM

低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下，不導(dǎo)電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。

結(jié)合JEOL*的冷凍干燥技術(shù)，可在低真空模式下快速觀察含水樣品。