日立S-3400N可變壓力掃描電子顯微鏡
- 公司名稱 深圳市世紀(jì)遠(yuǎn)景電子設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2021/8/25 15:50:33
- 訪問次數(shù) 475
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| 背散射電子圖像分辨率 | 3.0nm（30kV） | 二次電子圖象分辨率 | 8.0nm（3kV）nm |
|---|---|---|---|
| 放大倍數(shù) | 5至300,000xx | 加速電壓 | 0.5kV至30kVkV |
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 儀器種類 | 冷場發(fā)射 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
Hitachi S-3400N
一、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的特點(diǎn)
1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品zui高可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的技術(shù)指標(biāo)
日立S-3400N可變壓力掃描電子顯微鏡
項(xiàng)目 | 描述 | |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 | |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 | |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV | |
低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa | |
zui大樣品尺寸 | 直徑200mm | |
樣品臺(tái) | I型 | II型 |
X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
R | 360o | 360o |
T | -20o~ +90o | -20o ~ +90o |
zui大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
驅(qū)動(dòng)類型 | 手動(dòng) | 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
燈絲 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
物鏡光欄 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 | |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏 | |
檢測器 | 二次電子檢測器 | |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕 | |
自動(dòng)調(diào)校 | 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度 | |
日立S-3400N可變壓力掃描電子顯微鏡
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