等離子表面處理儀VP-R3采用低溫真空石英腔體等離子清洗裝置技術，腔體石英玻璃材質，容積5升，工作氣路2路，中英文觸摸屏操作控制，等離子處理結束自動泄壓，射頻頻率13.56MHz，射頻功率160W，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。

      廣州善準科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國廣州，專注于等離子表面處理儀、旋轉型真空等離子處理儀、旋轉型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機的研究、開發(fā)和制造。善準人經過多年的刻苦鉆研，抽絲剝繭，反復測試、成功獲得“一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）”等十項國家技術及軟件著作權，成為國內掌握產生13.56MHz頻率，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內溫度不超過32攝氏度的等離子生產廠家，應用此技術的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”，補充國內技術空白，性能比肩一線廠家；研發(fā)生產的VP-T系列旋轉型等離子處理儀和VP-TA系列旋轉等離子體低溫灰化儀成功推出，進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗行業(yè)的地位；而回應市場需求，解決樣品在無氧無水條件下進行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式等離子處理儀，則驗證了善準人與時俱進的研發(fā)能力和敢為人先的風格；VS-Q系列石英管真空封管機解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點，是對石英管真空密封技術的重新定義。