化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>POLOS-SPIN150x 德國(guó)進(jìn)口:polos勻膠機(jī)SPIN150x
POLOS-SPIN150x 德國(guó)進(jìn)口:polos勻膠機(jī)SPIN150x
- 公司名稱(chēng) 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 POLOS
- 型號(hào) POLOS-SPIN150x
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/17 15:20:18
- 訪問(wèn)次數(shù) 513
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勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板
POLOS SPIN150x
新的改進(jìn)和創(chuàng)新設(shè)計(jì)的 POLOS SPIN150x 型號(hào),它是一種多功能的高質(zhì)量基材旋涂機(jī),由 NPP制成,也可采用 PTFE 制成。德國(guó)進(jìn)口:polos勻膠機(jī)SPIN150x是專(zhuān)門(mén)為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的,是用于手動(dòng)或自動(dòng)(可選)化學(xué)品分配的桌面版本。
品牌 | Polo |
型號(hào) | POLOS-SPIN150x |
編號(hào) | POLOS-SPIN150x-NPP |
樣品尺寸 | 最大直徑 6" (150 mm) |
最高轉(zhuǎn)速 | 12000rpm |
旋轉(zhuǎn)方向 | 可正反轉(zhuǎn) |
新設(shè)計(jì)
新的的特別的外殼和排水設(shè)計(jì)允許您在桌面和甲板模型之間切換,此外,該單位的目的是升級(jí),在現(xiàn)場(chǎng)使用各種不同的配件,以方便配藥和整體處理。
液體過(guò)濾疏水閥
德國(guó)進(jìn)口:polos勻膠機(jī)SPIN150x配備了液體過(guò)濾器,以保護(hù)我們旋涂機(jī)的關(guān)鍵部件,如驅(qū)動(dòng)單元、真空閥、真空傳感器和ServoBL控制器。液體過(guò)濾器捕集器將捕獲通過(guò)處理室或真空吸盤(pán)進(jìn)入真空管路的任何液體。任何抗蝕劑或液體都將安全地保存在液體罐/瓶中,可通過(guò)旋轉(zhuǎn)器殼體上的切口看到。我們建議所有客戶在維護(hù)期間檢查液體罐/瓶,如果有液體,請(qǐng)清空瓶子。
旋涂機(jī)適用于:涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI和其他流程。
規(guī)格硬件SPIN150x:
1.液體過(guò)濾疏水閥
2.特別的外殼和排水管設(shè)計(jì),可在桌面和內(nèi)甲板模式之間切換
3.用于注射器或分配噴嘴中心注射保持器
4.蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
5.大型(可拆卸)觸摸屏顯示器
6.有USB端口用于存儲(chǔ)程序或者更新設(shè)備
7.驅(qū)動(dòng)單元:間接無(wú)刷驅(qū)動(dòng)單元-高達(dá)12000RPM(取決于基板/卡盤(pán))
8.高加速度和高精度
9.加速/減速1-30000轉(zhuǎn)/分鐘
10.CW,CCW旋轉(zhuǎn)和滴液選項(xiàng)
免費(fèi)卡盤(pán)和適配器:
1個(gè)A-V36-S45-PP-HD真空吸盤(pán),1個(gè)D-V10-S50-PP-HD 碎片托盤(pán)