MTS系列三維形貌量測設(shè)備：光譜共焦傳感器結(jié)構(gòu)

光譜共焦位移傳感器是一種通過光學(xué)色散原  理建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系，利用光譜    儀解碼光譜信息，從而獲得位置信息的裝置。

在光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中，

系統(tǒng)的測量范圍受4個方面的因素影晌：

1. 光源光譜分布范圍

2. 色散鏡頭在工作波段范圍內(nèi)的軸向色差

3. 光譜儀的工作波段

4. 光纖耦合器的工作波段

光譜共焦優(yōu)勢

多功能光譜共焦傳感器

我們的光潛共焦傳感器通過高品質(zhì)光學(xué)鏡頭沿汜光軸在不同距離而非單個點上聚焦白光，所有的可見光波段都 在焦點上。這種多功能的光學(xué)傳感器為測雯技術(shù)開辟了新的維度。

·任何材料都可測試- 非透明/ 透明材料，漫反射/ 反射， 吸收，彩色，粗糙/ 拋光

·同軸測試避免了陰影的影響

·斜面接受度和數(shù)值孔徑使得可測量角度在反 射表面可達(dá) 45° , 漫射率表面> 80°

· Z 軸分辨率和精度- 無需 Z 軸掃描獲取測試 結(jié)果，每個測試點都可傳遞一個測試值

·超快測試速度的多點線陣傳感器允許多點平行測試

·小且恒定的光斑尺寸可實現(xiàn)高的橫向分辨率

·光學(xué)探頭被動，無需移動任何部件或者嵌入電

路- 可保證高的熱穩(wěn)定性，長時間的可靠性和重復(fù)性

測量方式對比

數(shù)碼類顯微鏡

- 表面形貌需要做景深疊加，速度慢 - 視野小

- 掃描精度取決于Z軸電機和物鏡景深

激光共聚焦類顯微鏡

- 表面形貌需要逐層掃描，速度慢 - 視野小

- 人為數(shù)據(jù)量測

三角反射型類光譜共焦

- Z軸分辨率更低

- 掃描易出現(xiàn)盲區(qū)

- 透明材質(zhì)和鏡面材質(zhì)效果不佳

白光干涉

- 使用及維護(hù)成本高

- 不適合較大的樣品和起伏比較大的樣品

- 對表面比較粗糙的樣品效果不佳

MTS優(yōu)勢

 非接觸式無損測量

 最高20nm的Z軸分辨率 

 無需景深疊加速度更快

 樣品表面反射率不受限制 

 提供表面三維全部信息

 可自定義掃描區(qū)域

 可接入Q-DTS

 可接入西勵牛油果AI

MTS系列三維形貌量測設(shè)備技術(shù)參數(shù)

①2kHz以上，測試量程隨頻率增加而降低

②20° C時垂直鏡面測量

所給數(shù)據(jù)來源于典型應(yīng)用中的測試，與其他特定情況的測試會有差異。后續(xù)印刷錯誤，修訂，更新也會造成與表格中所列技術(shù)參數(shù)的不同。因此，不保證表格中此產(chǎn)品所給技術(shù)參數(shù)，測量結(jié)果和信息的一致性。