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          customized 硅芯清洗機

          具體成交價以合同協(xié)議為準
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          硅芯清洗機半導體英斯特

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          深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

          公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)


          1. 產(chǎn)品概述:

          英思特硅芯清洗機是專門用于硅芯清洗的設(shè)備,通過一系列特定的清洗工藝和技術(shù),有效去除硅芯表面的雜質(zhì)、污垢、氧化物等,以達到硅芯在半導體制造等領(lǐng)域應(yīng)用所需的高潔凈度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部分組成,各部分協(xié)同工作,實現(xiàn)對硅芯的自動化清洗流程。

          2. 設(shè)備應(yīng)用

          · 半導體產(chǎn)業(yè):在半導體芯片制造中,硅芯是重要的基礎(chǔ)材料。硅芯清洗機用于清洗硅芯,為后續(xù)的外延生長、摻雜等工藝提供潔凈的硅芯表面,確保芯片的質(zhì)量和性能。例如,在制造高純度的半導體器件時,硅芯表面的潔凈度直接影響到器件的電學性能和可靠性。

          · 光伏產(chǎn)業(yè):用于光伏電池生產(chǎn)中硅芯的清洗,提高硅芯的表面質(zhì)量,從而提升光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。

           

          3. 設(shè)備特點

          1.產(chǎn)品用途:適用于2"~8"硅芯清洗

          2.設(shè)備介紹:本設(shè)備為柜體式腐蝕機,整臺設(shè)備均采用進口件.

          基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國茲白色聚丙烯(PP)

          門板材質(zhì):德國透明聚氯乙烯(PVC)

          腐蝕槽材質(zhì):德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)

          清洗槽材質(zhì):德國自然色聚丙烯板(NPP)

          腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器

          清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置

          整機外形美觀,實用

          3.設(shè)備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)

          4.設(shè)備重量:8000Kg(約)

          5,設(shè)備控制方式: PLC結(jié)合操作觸摸屏控制

          6.設(shè)備動力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制

          整機額定電功率(參考):20KW

          電氣性能:E級,并有良好的接地

          水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25

          DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MDN25

          氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)

          排廢:DN50

          排廢酸:DN40

          排風:DN200

          環(huán)境要求:空氣溫度5-40°C;相對濕度:80

           




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