化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)> 日本桌面臺式無掩膜光刻機(jī) PALET DDB-701
日本桌面臺式無掩膜光刻機(jī) PALET DDB-701
參考價 | ¥ 100000 | ¥ 98000 |
訂貨量 | 1套 | ≥2套 |
- 公司名稱 深圳市田野儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/11 17:29:25
- 訪問次數(shù) 135
無掩膜光刻機(jī)臺式無掩膜光刻機(jī)日本桌面臺式無掩膜光刻設(shè)備PALET DDB-701直接曝光光刻系統(tǒng)
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鋼化玻璃表面應(yīng)力儀,F(xiàn)SM-6000LEUV、FSM-6000LE、FSM-6000X、雙光源玻璃應(yīng)力儀、SLP-2000、微晶玻璃應(yīng)力儀、手持應(yīng)力儀、便攜應(yīng)力儀
型號 | PALET DDB-701 | 電源 | 220v |
---|---|---|---|
精度 | 3μm |
桌面無掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng),通過其復(fù)雜的軟件支持簡單的光刻操作。
桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動 PALET DDB-701-DL,桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動 PALET DDB-701-DL
產(chǎn)品特點
硬件特性
小型化
內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)和真空吸油泵
只需要電源和光刻間
軟件特性
用戶方便型接口
簡易流程
支持對準(zhǔn)和暴露條件檢查*限制電動載物臺模型
型號 | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
載物臺(Stage) | 手動 XYZθ載物臺 | 電動 XYZθ載物臺 |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 線寬 | 3μm *1 | |
單次曝光面積 | 1mm×0.6mm *1 | |
每張照片曝光時間*3 | 1~2 sec. *1 | |
Max. 曝光區(qū)域 | 25mm×25mm(手動連接) | 25mm×25mm(自動連接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文檔格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主體尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主機(jī)重量 | 30kg |
*1在使用×10物鏡的情況下
*2在使用×2物鏡的情況下
*3曝光時間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)