MFC330-05E 氣體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號(hào) MFC330-05E
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/17 20:40:33
- 訪問次數(shù) 23
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MFC330-05E 氣體質(zhì)量流量控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330-05E 氣體質(zhì)量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
MFC330工作原理
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
- 介質(zhì)要求潔凈干燥氣體
- 氣體種類98+氣體可選
- 量程0-2,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
- 測(cè)量范圍0.5%F.S.(1:200)
- 控制范圍1%-100% FS.(1:100)
- 準(zhǔn)確度標(biāo)準(zhǔn):±1% F.S.
- 高精度±0.5%
- 重復(fù)精度±0.2%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 控制響應(yīng)時(shí)間<3 秒
- 預(yù)熱時(shí)間5 min(T95),30 分鐘最佳
- 閥門常閉式
- 泄漏率1*10-11Pa.m3/sec He
- 最大工作壓力3 MPa(30bar)
- 工作壓差范圍0-1 MPa
- 工作溫度范圍-20~65℃(環(huán)境和氣體)
- 溫度范圍0 ~ 98%無凝露
- 氣路接頭類型卡套、VCR、快插、快擰(可選)
- 氣體接觸材質(zhì)氟橡膠、304/316不銹鋼
- 密封材質(zhì)氟橡膠 FKM
- 防護(hù)等級(jí)IP40
- 安裝方式水平安裝方向校準(zhǔn)
- 固定孔M4 ↓ 5mm
- 重量0.96kg
- 電氣連接接口類型DB-9 公頭
- 模擬信號(hào)0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)
- 輸入輸出阻抗輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ
- 模擬數(shù)據(jù)更新頻率200Hz
- 數(shù)字信號(hào)Modbus RTU (RS232, RS485), CAN
- 通信速率9600(默認(rèn)),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(用戶可修改)
- 電源15-40 VDC,<200 mA
- 顯示更新頻率50Hz
- 模擬信號(hào)精度±0.05%F.S.
- 標(biāo)況20℃,1 atm
- 氣體選擇可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
- 軟件Aitoly分階流量軟件
滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
100 sccm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1.3 kg |
5.43 in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.393 | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.88 lb |