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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>長度計量儀器>三坐標(biāo)測量機>EPR-654(MH20I) 懸臂式三坐標(biāo)測量機

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          EPR-654(MH20I) 懸臂式三坐標(biāo)測量機

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 寧波怡信光電科技有限公司
          • 品牌
          • 型號 EPR-654(MH20I)
          • 產(chǎn)地 寧波
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
          • 更新時間 2024/12/25 14:22:22
          • 訪問次數(shù) 70

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            寧波怡信科技是一家集機器視覺、智能產(chǎn)線、精密儀器的研發(fā)、設(shè)計、制造及應(yīng)用于一體的高新技術(shù)與服務(wù)企業(yè),擁有光學(xué)、軟件、精密機械、自動化控制、人工智能算法等專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊,專注于機器視覺與智能產(chǎn)線,立足于新能源汽車行業(yè)。

                  目前我司已形成了專業(yè)且成熟的行業(yè)解決方案包括汽車外觀、開閉件、結(jié)構(gòu)件與熱管理組件的缺陷檢測、尺寸量測、裝配過程等機器視覺解決方案以及電子水泵、電動壓縮機、熱管理模塊等智能產(chǎn)線解決方案。我司產(chǎn)品包括視覺檢測設(shè)備、智能產(chǎn)線裝備精密影像測量儀、一鍵式閃測儀、三坐標(biāo)測量機、高度測量儀、激光掃描儀等。
                秉承對研發(fā)的持續(xù)投入,我司目前光學(xué)試驗室已具備面陣線陣拍攝、線激光掃描到藍(lán)光三維掃描系統(tǒng)的全應(yīng)用和測試能力,同時有多軸運動控制的光學(xué)試驗平臺與微米級高精度光學(xué)測量平臺, 擅長對各類尺寸量測和缺陷檢測進(jìn)行評估和制定解決方案。

                 結(jié)合我司自主研發(fā)的AI深度學(xué)習(xí)算法軟硬件平臺,全力打造業(yè)內(nèi)設(shè)施和功能齊全的光學(xué)測試試驗室。公司致力于為客戶提供有價值的智能產(chǎn)線與視覺檢測綜合性解決方案,通過不斷創(chuàng)新與自主研發(fā),同時憑借高效的項目管理流程以及精密制造流程的品質(zhì)管控,為智能制造注入智慧的科技。

          影像測量儀,三坐標(biāo)測量機,一鍵式閃測儀,高度測量儀,對刀儀,顯微鏡,掃描儀等

          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 橋式
          工作方式 水平式 工作原理 手動型
          價格區(qū)間 20萬-30萬 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),能源
            EPR系列精密懸臂式三坐標(biāo)測量機是我公司生產(chǎn)的龍門移動式全自動三坐標(biāo)測量機系列,具有功能強大、性能穩(wěn)定、精度高、操作簡單、維護(hù)方便等特點,尤其是其控制系統(tǒng)和軟件功能,具有世界先_進(jìn)水平。相對于其他產(chǎn)品系列比較而言,該系列具有結(jié)構(gòu)簡單、承載能力強、工件放置空間開闊、裝卸便捷等特點。
            精密懸臂式采用的控制系統(tǒng)是一款專門為CNC三坐標(biāo)測量機而設(shè)計制造的數(shù)控系統(tǒng),該控制系統(tǒng)采用了控制層和應(yīng)用層分開的原理,為三坐標(biāo)測量機(CMM)的高精度,準(zhǔn)確性,高效率提供了堅實的基礎(chǔ)??刂葡到y(tǒng)采用USB接口和計算機通訊,不需要擴展任何計算機通訊接口,也減少了不必要的外部連線,保證了系統(tǒng)的高可靠性。
            驅(qū)動系統(tǒng)采用直流伺服電機驅(qū)動,3軸均可無間隙、無振動的驅(qū)動電機按照速度T曲線或S曲線運動。
            按照3軸閉環(huán)運動方式配置,可輸入3路TTL正交脈沖,并矢實現(xiàn)量控制。
            精密懸臂式測頭接口電路兼容多種型式測頭。由于此系統(tǒng)出自RENISHAW公司,所以對RENISHAW測頭系統(tǒng)的支持更加完_美。
            控制系統(tǒng)更加安全可靠,它提供了多個控制模式,當(dāng)導(dǎo)致停機的問題發(fā)生時,本系統(tǒng)能夠在第一時間內(nèi)切換到相應(yīng)的模式讓機器停下來,用戶不用擔(dān)心飛車的意外,并具有故障在線診斷的功能。
            Ucc控制系統(tǒng)支持多種誤差檢測方法,可以方便的對測量機精度進(jìn)行校正。
            精密懸臂式速度更快,運動平穩(wěn),效率更高,在多點連續(xù)運動的路徑規(guī)劃上,既可以走直線也可以走圓弧路徑,使圓形工件的測量更加方便。
            精密懸臂式控制系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,維護(hù)簡單??刂茖雍蛻?yīng)用層分開使本系統(tǒng)的問題診斷和解決更為簡單和明確,一個層面上的問題波及到另外一個層面的現(xiàn)象將不復(fù)存在。
            操縱盒的人性化設(shè)計。操縱盒為用戶提供了控制更為簡捷、合理的按鍵及操作桿。既有傳統(tǒng)上的速度控制,還提供測量快捷鍵,使整個測量過程更加輕松、方便。
            質(zhì)量保證及技術(shù)服務(wù):
            1、安裝驗收:由怡信公司負(fù)責(zé)機器包裝運輸、現(xiàn)場安裝、調(diào)試,依據(jù)中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范JJF1064《坐標(biāo)測量機校準(zhǔn)規(guī)范》進(jìn)行機器驗收,雙方簽字認(rèn)可。
            2、培訓(xùn):怡信公司免費到買方現(xiàn)場進(jìn)行兩人三天的人員操作培訓(xùn)。
            3、保修期:測量機在買方調(diào)試驗收合格后,免費保修12個月,但不超過實際發(fā)貨日期起13個月。
            4、技術(shù)服務(wù):怡信公司承諾實時電話咨詢、指導(dǎo)解決客戶問題,如有必要,48小時到客戶現(xiàn)場解決問題,終身負(fù)責(zé)服務(wù)。
           
          規(guī)格型號: EPR-654

          測量范圍(mm)

          外形尺寸(mm)

          主機重量(Kg)

          最大承受重量(Kg)

          X

          Y

          Z

          L

          W

          H

          500

          600

          400

          1420

          1135

          2310

          900

          500

          精度指標(biāo):

          空間測量示值誤差 (µm)L:mm

          探測誤差(µm)

          分辨率(µm)

          2.3 + L/300

          2.4

          0.1

          最大運動速度(mm/s) :430

          機器配置

          序號

           配置

          名稱

          規(guī)格及說明

          產(chǎn)地

          品牌

          數(shù)量

          1

          主機系統(tǒng)

          主機及機臺支撐

          EPR-654

           

          怡信

          一臺

          2

          控制系統(tǒng)

          UCC控制系統(tǒng)

          控制柜

          英國

          雷尼紹

          一個

          操控手柄

          一個

          3

          測量軟件系統(tǒng)

          Rational DMISCNC測量軟件

          Rational DMIS測量軟件光盤一張(適用于Windows 操作系統(tǒng))

          美國

          愛科騰瑞

          一張

          軟件鎖

          Rational DMIS測量軟件鎖

          美國

          愛科騰瑞

          一個

          測量軟件操作手冊

          Rational DMIS測量軟件操作手冊

          美國

          愛科騰瑞

          一本

          影像測量模塊

          Rational DMIS

          美國

          愛科騰瑞

          一套

          4

          計算機系統(tǒng)

          計算機

          3.0GHz英特爾雙核處理器,內(nèi)存4 GB,硬盤500 GB, DVD-ROM光驅(qū),NVIDIA獨立顯卡1G,19吋寬屏液晶顯示屏、64位Windows 7中文版操作系統(tǒng)   (不低于此配置)

              

          聯(lián)想

          一臺

          打印機

          HP噴墨打印機

           

          惠普

          一臺

          桌椅

          計算機專用桌椅

          國產(chǎn)

           

          一套

          5

          測頭及測針系統(tǒng)

          測頭座

          MH20i

          英國

          雷尼紹

          一個

          標(biāo)準(zhǔn)測力模塊

          TP20

          英國

          雷尼紹

          一個

          測針組

          RENISHAW第3測針組件

          英國

          雷尼紹

          一套

          陶瓷校準(zhǔn)球

          Ф20

          國產(chǎn)

           

          一個

          萬向球座

          怡信

          國產(chǎn)

           

          一個

          6

          主要零部件

          機臺

          00級泰山青優(yōu)質(zhì)花崗巖平臺

          國產(chǎn)

           

          國產(chǎn)

          光柵尺

          高精度

          英國

          雷尼紹

          英國

          空氣過濾器及自動檢測控制裝置

           

          日本

          SMC

          日本

          氣管接頭

           

          德國

          FESTO

          德國

          同步帶

           

          美國

          蓋茨

          美國

          拖鏈及拖鏈電纜

           

          德國

          IGUS

          德國



          技術(shù)、功能、特點說明
          1、主機

          1 
          (圖1)

          主要材質(zhì)及零部件:00級專用優(yōu)質(zhì)花崗巖平臺及三軸導(dǎo)軌,精密鑄造加工航空鋁合金立柱,英國RENISHAW高精度光柵、讀數(shù)頭測長系統(tǒng),SMC精密空氣過濾器及自動檢測控制裝置,進(jìn)口國際知_名品_牌直流伺服電機,德國FESTO氣管接頭,優(yōu)質(zhì)空氣軸承,德國進(jìn)口配件的非線性彈簧系統(tǒng),德國IGUS低摩擦無噪音拖鏈及高柔性拖鏈電纜,美國蓋茨(GATES)高性能同步帶,美國進(jìn)口精密滾珠軸承,高級汽車級進(jìn)口工業(yè)面漆等。
          1.1龍門移動式結(jié)構(gòu),整體式工作臺,使其具有承載能力強、工件放置空間寬闊、裝卸便捷的特點。三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖材料,使三軸具有相同的溫度特性,因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗時效變形能力,剛性好、幾何變形最??;專業(yè)花崗巖生廠商聯(lián)合開發(fā)的新式花崗巖導(dǎo)軌加工檢驗工藝,將花崗巖導(dǎo)軌的加工精度提高到一個新的等級。

          1 
          (圖2)

          1.2 采用高精度空氣軸承,環(huán)抱式軸承布局設(shè)計(如圖1)提高了機器的剛性和穩(wěn)定性,即使長期工作,也能保持很高的精度,同時確保了機器優(yōu)異的動態(tài)特性。
          1.3 獨_特的Z軸防扭轉(zhuǎn)設(shè)計是決定測量機精度的重要環(huán)節(jié),可靠的防轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)計即使在使用測頭加長桿時也能獲得很高的精度。
          1.4 特_有非線性彈簧系統(tǒng)的應(yīng)用(專_利技術(shù))(如圖2)降低了導(dǎo)軌微小誤差對測量精度的影響,同時保證設(shè)備具有更高的環(huán)境溫度適應(yīng)性。

          1 
          (圖3)

          1.5 三軸采用高性能同步帶傳動,不但可以獲得很高的運動速度以提高測量效率,還可以最大限度的降低傳動慣量以提高運動加速度;傳動系統(tǒng)的振動隔離設(shè)計,使得機器高速運動時也能把機械振動對測量精度的影響降到最小。
          1.6 進(jìn)口低摩擦無噪音拖鏈,降低了各種運動軸外力干擾,同時提高各運動軸靈活性和可靠性。
          1.7 橫梁采用獨_特的導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)(如圖3)三角形是同樣面積中截面周長最大的形狀。三角形的導(dǎo)軌保證了在最小慣量的條件下取得最大的導(dǎo)向空氣軸承跨距,大幅提高了導(dǎo)軌的防轉(zhuǎn)精度。
          1.8 長度測量系統(tǒng)采用英國RENISHAW高精度反射式金屬帶狀光柵尺和讀數(shù)頭,具有極_高的精度和精度穩(wěn)定性。
          1.9 SMC高精度空氣過濾器可以使壓縮空氣達(dá)到極_高的潔凈度以有效地保護(hù)空氣軸承和導(dǎo)軌,同時自動排水裝置使得操作者使用時更加省心省力,避免了因忘記排水導(dǎo)致的設(shè)備損壞。全數(shù)字氣源檢測裝置,加強對氣源波動檢測的靈敏度,將氣源對測量精度的影響降至最_低。
          1.10 完善的安全保護(hù)裝置,能在一些意外發(fā)生時及時鎖死三軸,避免更大的意外發(fā)生,保護(hù)機器的安全。
          1.11 整機設(shè)計符合人機工程學(xué)原理,使用簡單方便,易于保養(yǎng)及維護(hù)。

          1 
          (圖4)

          2、控制系統(tǒng)
          RENISHAW  UCC控制系統(tǒng)(如圖4)是一款專門為CNC三坐標(biāo)測量機而設(shè)計制造的數(shù)控系統(tǒng),該控制系統(tǒng)采用了控制層和應(yīng)用層分開的原理,為三坐標(biāo)測量機(CMM)的高精度,準(zhǔn)確性,高效率提供了堅實的基礎(chǔ)??刂葡到y(tǒng)采用以太網(wǎng)接口和計算機通訊,不需要擴展任何計算機通訊接口,也減少了不必要的外部連線,保證了系統(tǒng)的高可靠性。
          2.1 驅(qū)動系統(tǒng)采用直流伺服電機驅(qū)動,3軸均可無間隙、無振動的驅(qū)動電機按照速度T曲線或S曲線運動。
          2.2 按照3軸閉環(huán)運動方式配置,可輸入3路TTL正交脈沖,并實現(xiàn)矢量控制。
          2.3 控制系統(tǒng)更加安全可靠,它提供了多個控制模式,當(dāng)導(dǎo)致停機的問題發(fā)生時,本系統(tǒng)能夠在第一時間內(nèi)切換到相應(yīng)的模式讓機器停下來,用戶不用擔(dān)心飛車的意外,并具有故障在線診斷的功能。
          2.4 UCC 控制系統(tǒng)支持多種誤差檢測方法,可以方便的對測量機精度進(jìn)行校正。

          1 
          (圖5 )

          2.5 速度更快,運動平穩(wěn),效率更高,在多點連續(xù)運動的路徑規(guī)劃上,既可以走直線也可以走圓弧路徑,使圓形工件的測量更加方便。
          2.6 控制系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,維護(hù)簡單。控制層和應(yīng)用層分開使本系統(tǒng)的問題診斷和解決更為簡單和明確,一個層面上的問題波及到另外一個層面的現(xiàn)象將不復(fù)存在。
          2.7 操縱盒(如圖5)的人性化設(shè)計。操縱盒為用戶提供了控制更為簡捷、合理的按鍵及操作桿。既有傳統(tǒng)上的速度控制,還提供測量快捷鍵,使整個測量過程更加輕松、方便。
          3、Rational DMIS測量軟件
          Rational DMIS軟件是一款通過德國物理技術(shù)研究院(PTB)認(rèn)證的軟件,具有多國語言文字(含中文)的表達(dá)能力,是國際化的測量軟件,為用戶提供了技術(shù)先進(jìn)、功能完善、性能穩(wěn)定、操作簡單方便的測量保證。

          1
          (圖6)

          3.1  Rational DMIS軟件是建立在Windows平臺之上,操作非常容易。
          3.2  基本測量功能(如圖6):

          1. 幾何元素的測量及評定:點、直線、平面、圓、橢圓、圓柱、圓錐、球、圓弧、鍵槽等。便捷的操作,只需操作者將被測工件進(jìn)行簡單的幾何元素分解即分清被測工件有多少個幾何元素構(gòu)成的,就可以快速的完成測量。
          2. 構(gòu)造功能:相交、中分、投影、擬合、相切、平行、垂直、平移、偏置、鏡像、提取、限制、旋轉(zhuǎn)。
          3. 形狀誤差評定:直線度、平面度、圓度、圓柱度。
          4. 位置誤差評定:距離、夾角、平行度、垂直度、傾斜度、同軸度(同心度)、對稱度、位置度(二維和三維)、圓跳動、全跳動。
          5. Rational DMIS軟件操作方便簡單,完M的支持拖放式操作,簡化了操作流程,從測量、構(gòu)造、公差評定到最終報告的輸出,只需要簡單的拖動鼠標(biāo)便可完成。
          6. 曲線、曲面的測量及評定。強大的曲線曲面測量功能,可以通過單邊或雙邊公差對曲面和曲線進(jìn)行誤差分析。
          7. RENISHAW測頭及測針庫??煞奖愕倪B接、配置、校驗、使用RENISHAW各種測頭及測針。
          8. 智能工件找正。即常用的3-2-1坐標(biāo)系建立方法,擁有圖形化提示操作,操作簡單方便。支持汽車檢具行業(yè)常用的RPS定位方法,支持曲面測量常用的最佳擬合方法,還支持多點擬合、三點偏置、兩點偏移等多種坐標(biāo)系建立方法。

          1
          (圖7)

          1. 多坐標(biāo)系、多測頭功能轉(zhuǎn)換便捷。軟件允許在一個測量工程中建立多個坐標(biāo)系,且允許使用多個測頭,通過鼠標(biāo)點擊或拖放,便可實現(xiàn)各坐標(biāo)系或各測頭之間的轉(zhuǎn)換。

          3.3  與CAD系統(tǒng)進(jìn)行雙向數(shù)據(jù)傳遞功能(如圖7):

          1. 直接接收CAD傳送的IGES、STEP、DXF等格式的數(shù)學(xué)模型,并能以實體或線框顯示CAD傳輸?shù)臄?shù)學(xué)模型圖形。
          2. 可實現(xiàn)CAD數(shù)模的分層和著色,也可以實現(xiàn)CAD數(shù)模原有分層和分色的導(dǎo)入,多個CAD數(shù)模導(dǎo)入、CAD數(shù)模鏡像、CAD數(shù)模的理論元素自動識別,支持點云數(shù)據(jù)的處理。
          3. 可在CAD數(shù)模中直接讀取理論數(shù)值并與實測值進(jìn)行比對。
          4. 可在CAD數(shù)模上直接脫機模擬測量,并編制測量程序。
          5. 可以將測量結(jié)果以IGES格式輸出給CAD系統(tǒng)。
          6. 能對被測量工件進(jìn)行測繪,也可做逆向工程。
          7. 能對復(fù)雜工件的CAD數(shù)模進(jìn)行精確找正,測量后重新構(gòu)建。并可從多個視圖中顯示CAD數(shù)模。

          3.4  圖形功能

          1. 三維實體模型顯示,使被測工件能直觀的顯示。可以在計算機屏幕上展示被測工件和測得的幾何元素的三維圖形,并可以打印出工件的三維圖形和尺寸報告。
          2. 可顯示測量機的運動狀態(tài)。在Rational DMIS軟件的支持下,計算機的屏幕上能實時顯示三坐標(biāo)測量機的三維立體模型。在實測量過程中,可以模擬顯示測頭的實際測量運動,即實時模擬測量機和測頭的運動姿態(tài),移動鼠標(biāo)可轉(zhuǎn)動三坐標(biāo)測量機的位置,調(diào)節(jié)視角的大小、比例。加之工件有三維實體模型顯示,這樣就大大方便了操作者,以后對工件進(jìn)行重復(fù)測量時,只要觀測屏幕就能了解三坐標(biāo)測量機的測量過程。
          3. 測量結(jié)果的圖形顯示輸出。
          4. 立體的幾何元素圖標(biāo),豐富的動態(tài)工具條,形象的工具欄以及三維圖形顯示被測幾何元素,操作者可以直觀明了地進(jìn)行操作。

          3.5  DMIS標(biāo)準(zhǔn)格式測量程序的雙向傳輸,支持DMIS5.0標(biāo)準(zhǔn)。
          3.6  自學(xué)習(xí)編程功能。方便的自學(xué)習(xí)功能,可將整個測量過程自動編制成測量程序。測量的順序也就是程序測量的順序,并能對整個程序進(jìn)行編輯以及進(jìn)行脫機模擬測量。
          3.7  智能的在線助手,能對用戶的每一步操作進(jìn)行語音和文字的提示,幫助用戶在短時間內(nèi)掌握所有操作。

          1
          (圖8)

          3.8  具有斷電保護(hù)功能及自診斷功能。
          3.9  測量結(jié)果輸出(如圖8)

          1.   支持傳統(tǒng)的輸出報告、Excel表格輸出報告、圖形報告、用戶自定制的輸出報告。
          2.   圖形報告。列隊式圖解方框顯示,能顯示出名義值,實測值,誤差及設(shè)置上偏差和下偏差等。圖形報告中被測元素帶測量結(jié)果值的界面可在屏幕上縮放、旋轉(zhuǎn)及移動,得到各個方向的視圖。也可以使用自動排列,大大方便了操作者,測量結(jié)果一目了然。
          3.   Rational DMIS軟件能對任何被測工件進(jìn)行檢測結(jié)果處理及輸出用戶測量報告。                 

          4.1 CCD影像測頭系統(tǒng)一套:

          1. 高精度工業(yè)CCD攝像系統(tǒng),解析精度40萬像素。
          2. 0.7 ^4.5倍多檔變焦鏡頭
          3. 圖像采集卡
          4. 亮度可調(diào)環(huán)形照明光源
          5. 校準(zhǔn)校正孔板
          6. 影像線

          4.2 Rational DMIS影像測量軟件的功能:

          • 具有多種方式的測量采點功能,而且可以自動識別圓,直線、橢圓、曲線等,即可以自動捕捉又能夠?qū)崿F(xiàn)手工輔助采點。
          • 擁有自動聚焦功能,可自行找到圖像的最佳清晰度。
          • 能夠?qū)崿F(xiàn)與觸發(fā)測頭的組合校正和組合測量。
          • 對于任意未知輪廓曲線只要確定起始點和終止點并規(guī)定掃描方向,就能夠?qū)崿F(xiàn)未知曲線的自動跟蹤掃描測量。
          • 智能鍵可以實現(xiàn)高效的快速測量,無需繁雜的操作就能實現(xiàn)元素的自動測量。
          • 不但可以對完整的圓進(jìn)行捕捉、評定,還能夠濾除輪廓上的缺口,對不完整的圓進(jìn)行測量。
          • 可以進(jìn)行采集點數(shù)量的設(shè)置。
          • 對于誤操作采集到的點可以方便的用橡皮擦進(jìn)行編輯修改。
          • 可支持多種照明光源。
          • 具有與觸發(fā)測量同樣豐富的誤差評定功能。

          4、測頭系統(tǒng)


          1

          RENISHAW  MH20i手動雙旋轉(zhuǎn)測頭

          1 

          1個

          技術(shù)參數(shù):
          分度軸A:0°~90° 步距:15°
          分度軸B:±180°   步距:15°
          空間測量方位:168個  定位重復(fù)性:1.5μm

          2

          RENISHAW  標(biāo)準(zhǔn)測力模塊

          1個

          3

          RENISHAW第3測針組件

          3.1

          測針A-5000-7804  PS27R  (φ2.5×20/14)

          4根

          3.2

          測針A-5000-3604  PS1R   (φ3.0×10/7.5)

          1根

          3.3

          測針A-5000-4161  PS17R  (φ4.0×20/20)

          1根

          3.4

          測針加長桿A-5004-7586(20mm)

          1根

          3.5

          測針加長桿A-5004-7611(40mm)

          1根

          4

          測針中心 A-5000-3627  SC2  

          1根

          5

          測針工具 A-5004-7582

          1根

          6

          校 準(zhǔn) 球: φ20mm

          1個

          7

          萬向球座

          1個

          五 、環(huán)境要求:

          • 溫度范圍:20±2℃,溫度變化:< 0.5℃/h     < 1°C /24h
          • 濕度范圍:30%~70%
          • 氣源壓力: 0.6MPa~0.8MPa,
          • 最大耗氣量:200L/min(0.45MPa)
          • 電源: 220V±5 % ,50Hz    
          • 最大功率:1 KW
          • 地面振動:振動頻率≤10 Hz       振幅≤0.5μm
            10 Hz<振動頻率≤30 Hz       振幅≤1μm
            振動頻率≥30 Hz       振幅≤3μm


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