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          產(chǎn)品展廳

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          MBE 分子束外延系統(tǒng)

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 巨力科技有限公司
          • 品牌
          • 型號(hào) MBE
          • 產(chǎn)地 進(jìn)口
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
          • 更新時(shí)間 2017/12/17 17:02:38
          • 訪問(wèn)次數(shù) 1500

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          巨力科技有限公司專門(mén)經(jīng)銷(xiāo)歐美、日本等國(guó)家制造的*科學(xué)儀器,為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務(wù)、技術(shù)支持。目前產(chǎn)品涵蓋材料科學(xué)、微納米技術(shù)、表面測(cè)量及表征、半導(dǎo)體、光伏和生命科學(xué)等領(lǐng)域。

           

          可控環(huán)境型微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng),超納米壓痕儀,納米壓痕儀,動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì),超顯微硬度計(jì),納米硬度計(jì),納米劃痕儀,顯微劃痕儀,大載荷劃痕儀,納米摩擦儀,摩擦儀,摩擦試驗(yàn)機(jī),高溫摩擦試驗(yàn)機(jī),真空摩擦試驗(yàn)機(jī),膜厚儀,球磨儀,高精度臺(tái)階儀,三維微納米輪廓儀,原子力顯微鏡,薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x,全息顯微鏡,激光測(cè)振儀,激光干涉儀,激光測(cè)速儀,光譜型橢偏儀,掃描霍爾探針顯微鏡,精密d33測(cè)試儀,薄膜d33測(cè)試儀,高溫介電測(cè)量系統(tǒng),表面等離子體共振儀,激光拉曼顯微鏡PCT測(cè)試儀,碳納米制備系統(tǒng),原子層沉積系統(tǒng),電子束蒸發(fā)系統(tǒng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)磁控濺射系統(tǒng)分子束外延系統(tǒng) MBE有機(jī)分子束沉積 OMBD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) PECVD電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 ECR-PECVD低能離子減薄儀,離子減薄儀,拋光機(jī),精密切片機(jī),微熱臺(tái)

          1.蒸鍍?cè)碈ell&電源:
          金屬沉積蒸鍍Cell 
              --zui大溫度: < 1800℃ 
              --坩堝容量和材料: up to 200 ccAl2O3, BN, PBN, etc 
              --包括超高真空shutterCooling shroud
          電源: 
              --直流電源:20A, 100V 
              --溫度控制:PID control

          2.等離子體Cell&電源:
          射頻等離子體Cell
              •坩堝材料:Alumina(Al2O3)
          電源:300W射頻發(fā)生器with matching box
          質(zhì)量流量控制器:N2 or O2

          3.薄膜沉積控制:
          •膜厚測(cè)量:石英晶體振蕩器
          •束流量:微離子規(guī)

          4.RHHED槍&電源:
          •配電功率: max. 30 kV at 1mA
          •燈絲功率:max. 3A

          5.真空室:
          •圓柱形腔體
              •直徑: OD 355 ~1,000 mm (Substrate : up to OD600mm)
              •高度: 700 ~1,000 mm 
          真空泵系統(tǒng)及測(cè)量
              •低真空:干泵和Convectron真空規(guī) 
              •超高真空:兩級(jí)渦輪分子泵,低溫泵和離子規(guī)

          6.系統(tǒng)控制:PLC, 觸摸屏計(jì)算機(jī)控制

           

          主要特點(diǎn)

           

          擴(kuò)展功能:
          •溫度控制器:基底加熱
          •LN2 or CW 冷卻系統(tǒng)
          •超高真空離子泵
          •反射計(jì):原位光學(xué)厚度測(cè)控
          •帶自動(dòng)樣品遞送裝置的Loadlock樣品加載系統(tǒng)

           
          儀器介紹  

           

          專業(yè)的沉積設(shè)備制造商,為各個(gè)領(lǐng)域的客戶提供完善的薄膜沉積解決方案:電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)、分子束外延MBE、有機(jī)分子束沉積OMBD、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)PECVD/ICP Etcher、電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、離子泵等;

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