WS-650Hzb-15NPPB Laurell650甩膠機(jī)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) WS-650Hzb-15NPPB
- 產(chǎn)地 美國賓夕法尼亞州
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/16 13:14:25
- 訪問次數(shù) 4441
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勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
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Laurell650甩膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 型號(hào)WS-650Mz-23NPPB (美國NIST*工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證) 1、產(chǎn)品概述: 2、甩膠機(jī)工作原理: |
三、勻膠機(jī)性能指標(biāo)及特點(diǎn):
1、該甩膠機(jī)采用美國*技術(shù):
2、Laurell甩膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì),這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
3、甩膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調(diào)整墊,可保障主軸具有較高的精度。
4、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時(shí)間,1秒至99分59.9秒任意范圍,時(shí)間增加精度0.1秒;
5、650S 型甩膠機(jī)大致有兩個(gè)轉(zhuǎn)速范圍,主軸轉(zhuǎn)速范圍寬,加速度高。*階段,通過500~1000RPM的轉(zhuǎn)速,旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘,使膠液得以平鋪開,而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制,一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM,旋轉(zhuǎn)時(shí)長從幾秒鐘到幾分鐘,如此既可以得到幾百個(gè)納米到數(shù)十個(gè)微米之間的均勻薄膜,也是可以無極變速的。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速,對不同的材料進(jìn)行均勻的涂膜。
6、高精度數(shù)碼控制器,美國Laurell甩膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。通過PLC控制系統(tǒng),運(yùn)行干擾小,可靠性高。人機(jī)交互按鍵顯示操作,界面友好,更直觀便捷,用戶可靈活編制、儲(chǔ)存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。甩膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不同材料的制備過程,每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變,當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。650S系列,除了對于轉(zhuǎn)速的精密控制以外(轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分,分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,加速度可達(dá)80000RPM/S,低則可達(dá)1RPM/S)。MSC-650S型可以通過USB通訊接口連接電腦,以及隨機(jī)附帶的SPIN3000分析軟件進(jìn)行功能多樣的可視化操作。對于每次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試,并挑選出好的制備過程,所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存,完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級(jí)。
7、高精度甩膠機(jī)加速度和速度的穩(wěn)定性:標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12,000 轉(zhuǎn)/分鐘(RPM)[分辨率:<0.5 轉(zhuǎn)/分鐘(RPM)可重復(fù)性:±0.5 轉(zhuǎn)/分鐘,經(jīng)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!]
8、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
9、甩膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié),與配套真空泵一同使用。