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應(yīng)用領(lǐng)域	電子,綜合

膜厚控制儀

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術(shù)，提供可靠的模式跳躍防止功能，可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀，可高度準(zhǔn)確地控制鍍膜速率與膜層厚度，具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力。容易安裝和穩(wěn)定的可靠性，可確保高的生產(chǎn)率。

特點(diǎn)

■有單膜層和多膜層型號(hào)

■ModelLock技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差

■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和雙探頭自動(dòng)晶體切換，用于高生產(chǎn)率

■XTC/3M多膜層型號(hào)支持多至99個(gè)工藝過(guò)程，999個(gè)膜層，32個(gè)鍍層，2個(gè)

傳感器和兩個(gè)源

■XTC/3S單膜層型號(hào)支持多至9個(gè)鍍層，2個(gè)傳感器和兩個(gè)源

■易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

■為便于檢索，可*的和描述性的薄膜與過(guò)程名稱

■有以太網(wǎng)連接軟件

■單獨(dú)運(yùn)行（無(wú)需計(jì)算機(jī)）或用PC運(yùn)行的Windows?軟件選件

■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(jiàn)（限于XTC/2功能和指令組）

膜厚控制儀

技術(shù)規(guī)范

功能，參數(shù)，或技術(shù)規(guī)范	XTC/3S單層膜	XTC/3M多層膜
測(cè)量分辨的頻率變化	＋0.05Hz	＋0.05Hz
測(cè)量區(qū)間	0.25秒	0.25秒
厚度和速率分辨/測(cè)量	0.06A,在工具/密度＝100	0.06A,在工具/密度＝100
	基頻＝6M Hz	基頻＝6M Hz
支持XTAL2轉(zhuǎn)換	是	是
計(jì)算機(jī)通訊	RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件	RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件
大RS232波特率	115.2千波特	115.2千波特
繼電器數(shù)	12標(biāo)準(zhǔn), 無(wú)事例可	12標(biāo)準(zhǔn), 事例可
可編程繼電器功能數(shù)	1	1
每個(gè)繼電器功能	1	1
繼電器電壓額定值	30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流	30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
	42V峰,在2.5安	42V峰,在2.5安
輸入數(shù)	8TTL, 24伏直流大	8TTL, 24伏直流大
可編程輸入功能數(shù)	1, 無(wú)事例可	1, 事例
記入儀輸入數(shù)	1	1
手動(dòng)電源/手持控制器	是	是
排風(fēng)扇	無(wú)	無(wú)
測(cè)試模式	是	是
擋光器延遲	是	是
次級(jí)工具	是	是
大允許相移頻率	1.0 M Hz	1.0 M Hz
機(jī)箱尺寸	1/2機(jī)架,2U高度	1/2機(jī)架,2U高度
速率和膜厚顯示分辨	0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒	0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒
	顯示膜厚分辨=1A	顯示膜厚分辨=1A
通過(guò)輸入選擇鍍層	是	否
用戶指導(dǎo)語(yǔ)言	英文，中文	英文，中文
控制環(huán)	PID	PID
數(shù)據(jù)登錄	是	是
質(zhì)量和穩(wěn)定性功能	是	是
樣品和保持	是	是
坩堝選擇	是	是
坩堝反饋輸入	是	是
選擇控制電壓極性	是，+/-2.5，5，10伏	是，+/-2.5，5，10伏
	15-位分辨率	15-位分辨率
程序鎖定碼	是	是
用戶標(biāo)簽過(guò)程/鍍層	否	是
XTC/2 RS232通訊兼容性	是（有限的）	是（有限的）