TRANSPECTOR® MPH 殘余氣體分析儀

解放您的過程

性能提高良率并使正常運(yùn)行時間超大化

持續(xù)上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出前所未聞的代價。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)優(yōu)等的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長制造的 RGA 具有行業(yè)超過的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比非常低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

• 最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms

• TCP/IP 以太網(wǎng)連接

• 雙絲極

• 可現(xiàn)場更換電子倍增器

• 組合陽極、陰極和反射極絲極套件

• 較短的傳感器可降低安裝占地面積

• 九個數(shù)量級的動態(tài)量程

• <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）

• 信噪比更高

• 可調(diào)換傳感器和電子元件

• 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

TRANSPECTOR® MPH 殘余氣體分析儀