6430 亞FA程控源表，集合了吉時(shí)利源表 和源測(cè)量單元（SMU）產(chǎn)品的電壓源和電流 源及測(cè)量功能，比靜電計(jì)靈敏度更高，噪 聲更低，輸入阻抗更高。這種*的性能 是通過6430遠(yuǎn)端前置放大器實(shí)現(xiàn)的，它提 供非常靈敏的雙向放大器，用于測(cè)量或產(chǎn) 生被測(cè)試器件的電流。遠(yuǎn)端前置放大器輸 出的高電平信號(hào)通過一條2米長(zhǎng)的線纜發(fā) 送到控制主機(jī)上。這使得用戶可以直接， 或者近距離連接該信號(hào)，減少線纜噪聲 的影響。

主要特點(diǎn):

• 0.4fA p-p (4E-16A)噪聲
• 遠(yuǎn)端前置放大器可以位于信號(hào)源處以減少線纜噪聲
• 電壓測(cè)量的輸入阻抗>1016Ω
• 高速——達(dá)2000讀數(shù)/秒
• 分辨率達(dá)6位半
• 快速元件特性分析，帶可編程數(shù)字I/O和接口

6430按照靜電計(jì)無法達(dá)到的速度測(cè)量 電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取多 2000源/測(cè)量讀數(shù)，讀入內(nèi)部存儲(chǔ)器中。 可以測(cè)量快速小電流，100nA量程可響應(yīng) 短至5ms的信號(hào)，較大量程可響應(yīng)幾百微 秒的信號(hào)。

6430的*特點(diǎn)包括其低電 流靈敏度和遠(yuǎn)端前置放大器，這通過避 免長(zhǎng)輸入線纜發(fā)揮了靈敏度的作用。遠(yuǎn) 端前置放大器是6430反饋測(cè)量系統(tǒng)的主 要部分，雖然通過長(zhǎng)達(dá)2米，帶載高電平 信號(hào)的連接線纜它能離開主機(jī)一段距離 但是它不能獨(dú)立于測(cè)量主機(jī)工作。

應(yīng)用

6430的功能使其同樣適于在測(cè)試實(shí) 驗(yàn)室的研究工作和復(fù)雜元件的評(píng)估，結(jié) 合其它源測(cè)量?jī)x器或SMU用于在較高電平 上進(jìn)行低電流、高電阻或高靈敏度的半 導(dǎo)體測(cè)量。6430的低噪聲和漂移性能也非 常適合高阻性納米線和其它高阻納米材 料的研究。

高速數(shù)據(jù)處理

6430能以超過2000個(gè)讀數(shù)/秒的速度 讀至其內(nèi)存緩沖器。IEEE-488總線輸出能 每秒發(fā)送達(dá)75個(gè)源/測(cè)量讀數(shù)至外部計(jì)算 機(jī)控制器，包括通過/失效指示。

6430能提供達(dá)2.2W的4象限源， 以及低至亞fA和微伏電平的測(cè)量 靈敏度。在高達(dá)20V，它能測(cè)量從 1pA量程（僅0.4fA峰峰值噪聲）至 100mA量程的電流?？商峁?00mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程 設(shè)置定義了源或阱電壓或電流的 大值。

典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體測(cè)量

基于FET元件中的柵 極漏電或溝道漏電會(huì)在 MOSFET、FET、模擬開關(guān)和許 多其它電路中產(chǎn)生誤差。通 過允許研究人員測(cè)量極低電 平的電流和電壓，6430能幫 助他們了解這些元件的設(shè)計(jì) 局限以及研究替代器件的結(jié) 構(gòu)或材料。

測(cè)量FET的柵極漏電和溝道電

SET研究

6430具有低電流測(cè)量能力（<0.4fA峰峰值）使其對(duì)于單電子晶體管 （SET）和量子點(diǎn)研究非常有用。使用類似于鎖定的技術(shù)，6430能以1aA靈敏度測(cè)量 電流（10–18A=6電子/秒）。

測(cè)量行業(yè)的低噪聲和漂移

下圖的數(shù)據(jù)表明6430在5小時(shí)期間內(nèi)穩(wěn)定性非常突出，而且短期的低噪聲性能 好。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時(shí)間在1pA量程上實(shí)現(xiàn)微弱信號(hào)采集。插 圖中的細(xì)節(jié)是濾波信號(hào)的截圖，顯示了6430型在開始的100秒期間的低噪聲性能 （僅200aA峰峰值）。在溫度變化約1°C的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下提取數(shù)據(jù)，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護(hù)罩。

6430 亞FA程控源表