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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>>PECVD管式爐>> OTF-1500X-80-III-4CV-PE三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐

          三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐
          • 三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌
          • 型號(hào) OTF-1500X-80-III-4CV-PE
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          屬性

          >

          更新時(shí)間:2024-10-21 20:37:17瀏覽次數(shù):2210評(píng)價(jià)

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          OTF-1500X-80-III-4CV-PE是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。


          技術(shù)參數(shù)

          三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐

          • zui高工作溫度1500
          • 連續(xù)使用溫度1400
          • 三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序
          • 每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
          • 總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm
          • 爐管為高純剛玉管
          • 爐管尺寸:84 O.D x 73 I.D x 1500mm L 
          • 輸入電源: 208 – 240V AC,單相
          • zui大功率:6.6KW
          • 配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
          • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

                    (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

          射頻電源

          • 輸出功率:          5 -500W    ± 1% . 
          • 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
          • 反射功率:          zui大 200W 
          • 匹配:                自動(dòng)
          • 射頻接口:       50 Ω, N-type
          • 噪音:                    <50 dB. 
          • 冷卻:                  風(fēng)冷
          • 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

          防腐型真空計(jì)

           

          • 輸入電源   24V1A  DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
          • 測(cè)量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
          • 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
          • 接頭     1/8"NPT 接頭
          • 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

          真空系統(tǒng)

          • 采用TRP-12的雙旋真空泵極限真空10E-3 Torr 
          • KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連.
          • 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr 
             

          質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)

          • 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制.
          • MFC 1范圍:  0~100 sccm 
          • MFC 23:    0~200 sccm  
          • MFC 4范圍:   0~500 sccm 
          • 一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口
          • 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體.
          • 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS. 
          • 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS. 
          • 采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制

          溫控系統(tǒng)

          • 三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制
          • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
          • 帶有超溫和斷偶保護(hù)
          • 控溫精度:+/- 1 ºC
          • 控溫儀表操作視頻
          • 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦

          外型尺寸

          • 爐體:550 x 380 x 520  mm 
          • 爐體下端移動(dòng)柜:1800×600×600mm
          • 凈重:220 Lbs. 
          • 運(yùn)輸重量:1200lbs

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,終身維護(hù),相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈等易耗件

          質(zhì)量認(rèn)證

            CE Certified

            

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