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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>CVD、PECVD設備>> 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV

          1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV
          • 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV
          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 品牌
          • 型號
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          屬性

          >

          更新時間:2024-10-22 08:35:16瀏覽次數(shù):2113評價

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          GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),Z高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

            GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),zui高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

          技術參數(shù)

          管式爐結(jié)構(gòu)
          • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C.
          • 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
          • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
          加熱元件


           1800 grade MoSi2   ( 8根) 
           

          zui高工作溫度
           1700°C
          zui大升溫速率
            5°C/min
          zui大降溫速率
           5°C/min
          加熱區(qū)長度
           455mm (18")
          恒溫區(qū)長度 
           150(+/-1°C)
          溫控系統(tǒng)
          • 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR
          • 可設置30段升降溫程序. 
          • 控溫儀表操作視頻
          • 帶有過熱和斷偶保護
          控溫精度
           +/-1°C
          爐管材質(zhì)和尺寸
          • 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
          • ID: 72mm x  OD: 80 mm   x 1000 mm length.    
          密封法蘭
          • 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計,和閥門
          • 通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr 
          • 泄漏率zui大6 mtorr/min
          輸入電源AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:zui大5KW
          真空泵和配件真空泵
          • 一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi)
          • 通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr 
          配件
          • 標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭
          • 一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
          • 一個LED數(shù)字式真空顯示計(測量范圍: 0.1mtorr ~ 850 torr)
          • 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細介紹)
          氣體流量計
          • 3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。
          • *路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 
          • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 
          • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
          •  一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測混合氣體的壓力
          • 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
             
            Front PanelBack PanelGas Routes
                
          運輸信息產(chǎn)品尺寸
          • 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
          • 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
          • 混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機組: 600 x 600 x 700mm
          凈重450 lb (總計)
          運輸重量500 lb (總計)
          質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件
          質(zhì)量認證     CE certified

           

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