目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X- S50- 2F
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計,右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機械泵相連接(抽速為226L/m)。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 °C 。
技術(shù)參數(shù)
高溫爐 | 殼體 |
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(點擊圖片查看詳情) | 功率 | 1.75KW |
電壓 | AC -220V | |
溫度 |
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爐管 | 石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length) | |
加熱區(qū) |
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溫控系統(tǒng) |
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加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長使用壽命) | |
兩路混氣系統(tǒng) |
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真空法蘭和配件 | 結(jié)構(gòu)
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可選 | 本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 | |
真空泵 |
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產(chǎn)品凈重 | 100 lbs | |
產(chǎn)品尺寸 |
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運輸重量 | 200lbs | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期(不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件) | |
質(zhì)量認證 | CE certified |