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氣體種類 | 項目 | 指標 | ||
優(yōu)等品 | 一等品 | 合格品 | ||
高純氮 | 氮氣純度, 10-2（V/V） | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氧含量,10-6（V/V） | 1.0 | 2.0 | 3.0 | |
氫含量,10-6（V/V） | 0.5 | 1.0 | 1.0 | |
CO、CO2、CH4總含量,10-6（V/V） | 1.0 | 2.0 | 3.0 | |
高純氬 | 氬純度, 10-2（V/V） | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氮含量,10-6（V/V） | 2 | 4 | 5 | |
氫含量,10-6（V/V） | 0.5 | 1 | 1 | |
總碳含量（以甲烷計）10-6（V/V） | 0.5 | 1 | 2 | |
高純氦 | 氦氣純度, 10-2（V/V） | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氫含量,10-6（V/V） | 0.1 | 0.5 | 1 | |
氧（氬）含量10-6（V/V） | 0.5 | 1 | 1 | |
氮含量,10-6（V/V） | 1 | 1 | 2 | |
一氧化碳含量,10-6（V/V） | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
二氧化碳含量,10-6（V/V） | 0.2 | 0.2 | 0.5 | |
甲烷含量,10-6（V/V） | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
高純氫 | 氫純度, 10-2（V/V） | 99.999 | ||
氧（氬）含量10-6（V/V） | 1 | |||
氮含量,10-6（V/V） | 5 | |||
一氧化碳含量,10-6（V/V） | 1 | |||
二氧化碳含量,10-6（V/V） | 1 | |||
甲烷含量,10-6（V/V） | 1 | |||
超純氫 | 氫純度, 10-2（V/V） | 99.9999 | ||
氧（氬）含量10-6（V/V） | 0.2 | |||
氮含量,10-6（V/V） | 0.4 | |||
一氧化碳含量,10-6（V/V） | 0.1 | |||
二氧化碳含量,10-6（V/V） | 0.1 | |||
甲烷含量,10-6（V/V） | 0.2 | |||
高純氧 | 氧純度, 10-2（V/V） | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
氬含量,10-6（V/V） | 2 | 5 | 10 | |
氮含量,10-6（V/V） | 5 | 10 | 20 | |
二氧化碳含量,10-6（V/V） | 0.5 | 1 | 1 | |
總碳含量（以甲烷計）10-6（V/V） | 0.5 | 1 | 2 | |
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