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飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜2-材料表征

儀器簡介：
飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS)是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)?？梢詮V泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素，分子等結(jié)構(gòu)信息。

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜2-材料表征

技術(shù)參數(shù)：
. 并行探測所有離子，包括有機(jī)和無機(jī)分子碎片。
. 無限的質(zhì)量探測范圍（實(shí)際測量中大于1000m/z 原子量單位）。
. *透過率下實(shí)現(xiàn)高的質(zhì)量分辨率。
. 高的橫向和縱向空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）。
. 探測靈敏度可達(dá)ppm或ppb量級(jí)。
. 質(zhì)量探測分辨率(M/ΔM) >1000
. 質(zhì)量探測準(zhǔn)確度 ≥20 milli 質(zhì)量單位
. 反射性分析器
. 5 分鐘樣品腔真空度可從大氣環(huán)境達(dá)到真空工作環(huán)境

主要特點(diǎn)：
.  超高的表面靈敏度(1x109 atoms/cm2)
·  操作簡單(? day training)
· 1 分鐘分析，樣品處理流程<7分鐘
· 導(dǎo)體和絕緣體表面均可測試
· 可得到元素和分子信息
· 從元素中分離出普通有機(jī)物
· 正電和負(fù)電的 二次離子質(zhì)譜
· 同位素分析
· 分析面積 ~0.5 mm
·  濺射預(yù)清洗表面
· 提供材料數(shù)據(jù)庫

專業(yè)科研型



MS-1000 簡易型，專業(yè)用于表面分析

• MS-1000 臺(tái)式型，用于固體表面分子結(jié)構(gòu)定性分析

• MS-1000 是飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜，屬于靜態(tài)模式的SIMS，對于樣品表面的分子非常敏感

• MS-1000 相比其它SIMS，比較便宜，性能價(jià)格比高，方便使用，15分鐘可以得到樣品表面信息。

• MS-1000專業(yè)設(shè)計(jì)用于質(zhì)量控制和錯(cuò)誤診斷，生產(chǎn)時(shí)的指標(biāo)監(jiān)測，以及其它表面分析手段做不到的領(lǐng)域.

• 質(zhì)譜分析儀和離子槍設(shè)計(jì)成一體，使得MS-1000 成為最小的靜態(tài)二次離子質(zhì)譜!

MS-1000應(yīng)用領(lǐng)域包括:

• 分析涂層中的膠黏劑以及復(fù)合材料

• 半導(dǎo)體制備中的污染，藥物生產(chǎn)的準(zhǔn)備和環(huán)境監(jiān)測

• 生物體兼容性測試

• 快速檢測等離子體對樣品表面的處理和改性

• 涂料中預(yù)處理的有機(jī)粘合劑分析