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PPR過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于在線過(guò)程監(jiān)測(cè)和診斷。殘余氣體分析儀 （RGA） 提供兩條路徑：一條用于監(jiān)測(cè)基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑，以及一條用于在工作壓力下監(jiān)測(cè)過(guò)程的減壓路徑。PPR 真空過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力3 × 10-5 Torr-L/s 流速2 秒響應(yīng)時(shí)間 （0.1 Torr）100、200 或 300 AMU 系統(tǒng)6 數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍RGA Windows 軟件PPR 真空過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)PPR 過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)專為在線過(guò)程監(jiān)測(cè)和診斷而設(shè)計(jì)。殘余氣體分析儀 （RGA） 提供兩條路徑：一條用于監(jiān)測(cè)基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑，以及一條用于在工作壓力下監(jiān)測(cè)過(guò)程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微孔孔，設(shè)計(jì)用于在以下壓力之一下運(yùn)行：0.01、0.1、1 或 10 Torr。它將樣品壓力降低到RGA的工作壓力（約10-6 Torr）。該壓降由泵送系統(tǒng)維持，泵送系統(tǒng)由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成。兩個(gè)泵都是無(wú)油的，不會(huì)污染您的過(guò)程。連接到工藝室的入口組件可以通過(guò)多種方式進(jìn)行配置（見(jiàn)圖紙）。該系統(tǒng)包括RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵以及用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。該軟件用于在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增器探測(cè)器都是PPR系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR系統(tǒng)在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)組裝和校準(zhǔn)，并準(zhǔn)備連接到您的真空工藝室。PPR 真空過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)性能氣體流量 3 × 10-5 mbar-L/s，減壓入口激活響應(yīng)時(shí)間 2 秒，入口壓力為 0.1 mbar（隨壓力線性縮放）啟動(dòng)時(shí)間 8 分鐘標(biāo)稱連接入口 2.75“ CF 法蘭，可旋轉(zhuǎn)，帶通孔渦輪泵到控制器 6 英尺電纜（提供）渦輪增壓器到前級(jí)泵 6 英尺柔性軟管（提供），1/4" 內(nèi)徑 × 7/16“ OD計(jì)算機(jī)接口 RS-232C（28,800 波特， 9 針 D 連接器）軟件 RGA Windows 應(yīng)用程序

深圳市美佳特科技有限公司（簡(jiǎn)稱“美佳特"）成立于2010年，致力于光通訊測(cè)試、通用電子測(cè)量及5G測(cè)試服務(wù)。美佳特以“無(wú)線溝通，溝通無(wú)極限 "企業(yè)使命，業(yè)務(wù)聚焦于精密測(cè)試測(cè)量?jī)x器的租賃、銷售、維護(hù)、計(jì)量及測(cè)試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。N2843A Keysight 無(wú)源探頭 Keysight 是德

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