本例是BaTiO3多層沉積結(jié)構(gòu)陶瓷電容的原材料BaCO3和TiO2的顆?;旌衔锏挠^察例。 由于這些顆粒的混合比例不同陶瓷電容的性質(zhì)也隨之發(fā)生變化,所以通過電鏡觀察掌握BaCO3顆粒和TiO2顆粒的混合狀態(tài)非常重要。
左圖是用5kV加速電壓觀察的LABSE圖像;右圖是用0.8kV加速電壓觀察的LABSE圖像。由于加速電壓不同,激發(fā)深度不同,所以0.8kV拍的照片和5kV拍的照片相比較可以發(fā)現(xiàn)前者的成分對比度更佳。
正是如此,低加速電壓下的BSE圖像觀察,可以更有效的反應(yīng)出微小顆粒的成分差異。
而且,像右圖那樣使用高角背散射電子(HABSE)信號觀察,和左圖的LABSE相比,成分對比度更加強烈。
本例采用SU9000超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡進(jìn)行觀察,關(guān)于此儀器請參考:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138508.htm
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日立高新技術(shù)公司是一家雇員超過10,000人,有百余處經(jīng)營網(wǎng)點的跨國公司。企業(yè)發(fā)展目標(biāo)是“成為獨步的高新技術(shù)和解決方案提供商”,即兼有掌握技術(shù)水準(zhǔn)的開發(fā)、設(shè)計、制造能力和滿足企業(yè)不同需求的解決方案提供商身份的綜合性高新技術(shù)公司。日立高新技術(shù)公司的生命科學(xué)系統(tǒng)本部,通過提供的科學(xué)儀器,提高了分析技術(shù)和工作效率,有力推進(jìn)了生命科學(xué)領(lǐng)域的研究開發(fā)。我們衷心地希望通過所有的努力,為實現(xiàn)人類光明的未來貢獻(xiàn)力量。
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