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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2020-06-16 17:05:44瀏覽次數(shù)：1675
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| 供貨周期 | 一個月 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天,汽車,電氣 |
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AMO光柵尺WMR 1010A 3-1024-MF-R001-1RM
AMO光柵尺WMR 1010A 3-1024-MF-R001-1RM
?光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。
BUCHER CINDY 16-B-PNS-S100-A-G9-1
rexroth R901056987 M-3SED 6 CK1X/350CW230RN9XEZ2
rexroth R901057716 4WE 6 C6X/EW230RNXEZ2
rexroth R909404452 A2F5/60R-B7
Rexroth A2F010/61R-PBB06
REXROTH VT-HNC100-1-23/W-08-P-0
rexroth R900773066 HM 17-1X/400-C/V0/0
argus Type E25, PN 6211-0100-670308MOD/G83G
argus Type E25, PN 6211-0100-670290/G82
argus Type E25, PN 6211-0100-670289/G84
argus Type E25, PN 6211-0100-670840MOD/G82G
Diebold 76.711.063
Diebold 76.701.140
Diebold 76.761.063
Diebold 76.750.063
Diebold 76.750.240
Bosch Rexroth 580254910
bosch 580464125
Dunkermotoren BGE6005(88720 02716)+BG45X15(88545 05301)+PLG42S(8885901421)
BINDER 70111134/N5 102V 0.29A Hub0.6cm
EGE SDN503GRR
heidenhain 317393-55
GETA Feb-96
TESTO 875- 2i
WOLLSCH 776626303T6M
Hegenscheidt 2007919-12-2
Tollok TKL500 size dxD = 45 x 90, L= 85
bucher EPFI-10-N-0-08-0-M-24DG
bucher EPFI-10-N-0-08-0-M-12DG
bucher EPFI-10-N-C-08-0-M-12DG
bucher EPFI-10-N-C-08-0-M-24DG
PHOENIX Industrial Ethernet Switch - FL SWITCH SF 16TX - 2832849
wandfluh WDYFA06-BEA-G24/L15-T24
wandfluh WDYFA06-ACB-G24/L15-T24
wandfluh SDYPM22-FG-G24/L21
wandfluh WDYFA06-ADB-G24/L15-T24
wandfluh AEXD3406-G24/L15-T4
WEIGEL EQ96K 0-500V
WEIGEL EQ96K 0-1A =0-1600A
WEIGEL VUE2.2 Nr 26129144
WEIGEL AUE2.2 Nr 26129086
WEIGEL EQ96K 0-1A=0-800A
parker 1P4MA0004169
parker 1P4MA0004169
JUMO 703032/10-001-000-00-000
SICK srm50-hza0-s05
NUOVA FIMA 8.MTOM.3.A.E.---.AAFZ. S35.1.T32
HALDEX WP09A1-1802022
HALDEX WP09A1B160L03FA150N
festo 875-2i
festo 875-2i
Servomex SW2710923A
Servomex SW000N86
Servomex SW2720995
Servomex SW2720902A
SAMTEC CC69R-1620-T-SP
SAMTEC IPBD-02-S
ARI-Armaturen Type6,0KN ID-3227
ADDA T2A 100L-2 205081011
BENNING MM 1-2
nass magnet GmbH 0550001-00/4982
Vishay SK 700 1157659 1785
Vishay SK 700 1157659 1785
SITI MI 90FBR Oil 460SD 20
AERZENER 1006153 GM 10S
HKS AF500/002/A140/BB300PN2SN3201346-1-1/120546
BRADLEY 20-750-ENC-1
PMV D20IMU-S23PVA-Z5S0X
ROPEX Res-415L
TCH w.29/11 62 6011 210 022 33/11
TCH w.18/10 62 6111 620 022 w03/11 61 6111 620 322
TCH w.23/11 61 6311 310 02249/10
leister LHS 20L
BOLL&KIRCH 07/14 1945822 29
turck FCS-G1/2A4P-LIX-H1141/B037
wesettric Art.12335A010LE
Magnet-Schult GDAY025 X20 B21
Tippkemper PSN-GD-TDN-LWLS186/E34010033
parker P1C-4LMT
parker P1C-4LME
ganter GN 426-AL-20-350-SR
SIMRIT 91002-900104
NORD LOCK 1646
NORD LOCK 1231
NORD LOCK 1219
NORD LOCK 12 13
NORD LOCK 1226
RUD 8500911
ROCKWELL TLS3GD2/440GT27261
ASCO NUMATICS P493A4121110A00
ASCO NUMATICS P493A4122010A00
AGATHON 7801.016.037
AGATHON 6541.016.125
AGATHON 7611.016.052
LEM LEM LA125-P 48.4*33.6*19.4
LEM LEM LV25-P 16*26*29.2mm
ABB TSP111 No.241237163-010-12
ROPEX Res-415L
Perma-tec Perma-tec 2290.002.602
Perma-tec Perma-tec 2299.101.000
Perma-tec Perma-tec 222.0001.608
Perma-tec Perma-tec 229.1000.003
KNF TYPE PM21205-NPK09.0 Nr 05223372
REVO ETY9020020A Nr RD3006005000000
E+H FTI55-A1C9YY942C1A
walter 2390LF80
BUSCHJOST 8254214.919
hubner FGH-4KK 8192-90G-NG-L2/20P SN439666
DRUMAG ZHS-A 36/110-D-N-3099
hubner EF C760 BE41ARU-Interface complete
Elektra-Lindau 5R5011320 Nr61062 Art65/0201/1
AMG-pesch Typ SAF 25NC 90 Ar158037 Au623415
boehmer DN025 PN025 BNGV7 006.9574
APEX AB180-008-S2-P2
FLEXBALL 1128001A24
FLEXBALL DZ55/G =2400/HUB40
FLEXBALL DZ55/G =2400/HUB40
FLEXBALL 1128001A24
Warner EM 5Q-20
Taprogge DE1399YYB910D056 4-20mA 10~240mbar 24VDC.
murr 7000-40021-054 0300
murr 7000-40021-054 0200
murr 12901
murr 12701
Murrelektronik GmbH 55289
murr 7000-40021-054 0100
murr 12921
murr 50061
murr 78201
murr 78081
Murrelektronik 7000-41121-0000000
murr 7000-40021-054 2000
murr 7000-40021-054 0500
murr 12721
dopag proportion valve /C-415-01-50
knoll motor/BS06-81U/DO6LA4/MG
burkert 8025 Nr.418762
FLEXBALL 16038403-01790CABLE 160 I G=1500 S=200
FLEXBALL 16038403-02790CABLE 160 I G=2500 S=200
Drumag 4115580.10.0.2 124022 SPK-B 080-20/130-17
FLEXBALL 16038403-02790CABLE 160 I G=2500 S=200
FLEXBALL 16038403-01790CABLE 160 I G=1500 S=200
gemue 415 50D 112 421 0101
burkert 8030SE30+S070
gemue 840 65D 0 114 144322000
gemue 840 65D 0 114 144322000
gemue 415 50D 112 421 0101
Magnet-Schult GDAY 035 X20 E08
HASKEL HASKEL AA-30
Schurter 4301.5005
Schurter 4301.1401
Schurter 41.2321
Schurter 854.0624
Schurter 854.0873
Schurter 913.4003
bucher CINDY 16-B-SND-D100-L-D25-2-SVA240
DSL AES-SIGMA 15 02D-SF-HMPP-MB/R Nr.215-0706
timmer 7901-0119
timmer 2511-1004
timmer 5400-0016
timmer 7901-0156
timmer 7002-0010
timmer 7901-0149
timmer 7901-0014
timmer 7901-0157
timmer 7001-9003
timmer 5400-0018
timmer 5400-0015
timmer 5400-0017
burkert 58316
BUSCHJOST 8251080.9150 400V 50HZ
KOBOLD VKM-3108-R0-R15 14L/min
STROMAG STROMAG 75BM-899B3
FHF Typ 5842/1 A.Nr11883303 PTB99ATEX2115F.Nr26372032
Burster 9310-V0002 S/N399676
walther 330407
walther 714410
walther 710110
walther 710210
walther Shell of 710210
keystone Valve seals/GJ-250/DN200/08/1631404
Prosoft MVI56-MNET
Prosoft MVI56-MBP
Prosoft 5304-MBP-PDPMV1 ProfiBus
Prosoft MVI56-MNET
Prosoft MVI56-MBP
Prosoft 5304-MBP-PDPMV1 ProfiBus
CRS CJS-25-4.00-200-I-D
vacon NXP00315B2H1SSVA1A2B1C600
NORD 83F-160M/4 TF F Nr.200918186-100
NORD 93F-160L/4 TF F Nr.200918186-200
SUN DTDA-MCN-770-224 1HB3
AKO AKO VFX080.03SFLF.31.30LAS169
AKO AKO VFX080.03SFLF.31.30GLA
allweiler SNZP380.1HX1P11 Nr.9990-0285-887
InterApp DN150 LCV-170-1,2 175-1,2 B10150.33-2BE.4GT.TS
InterApp DN150 LCV-170-1,2 175-1,2 B10150.33-2BE.4GT.TS
Hoft&wessel HW86022 IC4153A-860221 FCC-IDPGM860221
KPA Sealing gland/KN459/1A
HANSA PHD-216x1200AOS
HANSA BKR 25DN ROV
BENNING IT 101 044033 4014651440333
waldmann 209 474 017
FLOWSERVE WDB0138201
BIFOLD FP06P-S1-04-32-NU-S-77A-24D-57-K85-02
Drumag 4115580.10.0.2 124022 SPK-B 080-20/130-17
finder A2 DEN.730.10
finder A15 KSM.010.01
CRS CJS-25-4.00-200-I-D
burkert 58361
Buschjost Ms-FPM-1/2-24V-ATEX
mewesta DICHTSATZ 551019 8320000
mewesta STEVERINHEIT 9537812-50
mewesta 3/2-SZTZYVENTIL 8320100
RICKMEIER R45/100 FL-Z-DB16-R-SO 414008
rexroth 490367101
KEYSTONE 84OL96
KEYSTONE 10TG89
KEYSTONE 91TU00
keystone 00WZ67
keystone 51CA06
keystone 55ED97
keystone 41FU85
KEYSTONE 71BO32
KEYSTONE 16MK71
keystone 46DR11
keystone 09BQ74
timmer 5400 0013
timmer 7901 0017
timmer 2511 1003
timmer 7901 0053
hasberg 0.05*25*5000mm
HASBERG 0.01*25*5000mm
hasberg 0.03*25*5000mm
hasberg 0.04*25*5000mm
hasberg 0.06*25*5000mm
hasberg 0.08*25*5000mm
hasberg 0.30*25*5000mm
hasberg 0.40*25*5000mm
hasberg 0.02*25*5000mm
hasberg 0.07*25*5000mm
hasberg 0.09*25*5000mm
hasberg 0.20*25*5000mm
hasberg 0.50*25*5000mm
hasberg 0.10*25*5000mm
hasberg 0.15*25*5000mm
FLEXBALL 16038403-01790CABLE 160 I G=1500 S=200
FLEXBALL 16038403-02790CABLE 160 I G=2500 S=200
FLEXBALL 16038403-02790CABLE 160 I G=2500 S=200
FLEXBALL 16038403-01790CABLE 160 I G=1500 S=200
epro A6824
Epro PR 9268/201-000
EPRO PR 9268/200-000
epro A6740
JUMO 202925/0100-1003-105-37-88-84
FOXBORO 9302A-SIZM-TSJ-GN/IMT25-SEATB10N
EMG LIC770/01
Walther SP-009-2-WR017-11-2-Z02
Bonfiglioli BMD65-1,7-3000-400 75 11
Bonfiglioli CMPDPV1
Bonfiglioli BMD82-3,2-1600-400 100 14
Bonfiglioli EMRES03
Walther 710210
Walther 710110
Hawe R1.0
CRS CJS\25\4.00\200\I\D
festo DGPI-25-1000-PPV-AIF-GK-AU（DGP-25-1000）Nr.175134
Spieth MSR 40.1,5
Spieth MSR 50.1,5
parker PVD25AZ140C2G024
AZ 16-12ZVK
AZ 16-12ZVK-M20
AZ 16-12ZVK-ST
AZ 16-12ZVRK
AZ 16-12ZVRK-M20
AZ 16-12ZVRK-ST
AZ 16ZVK
AZ 15/16-B1
AZ 15/16-B1-1747
AZ 15/16-B1-1747 MIT HAFTMAGNET
AZ 15/16-B1-2024
AZ 15/16-B1-2024 MIT SCHLITZABDECKUNG
AZ 15/16-B1-2053
AZ 15/16-B1-2053 MIT KUGELRASTUNG
AZ 15/16-B1-2177
AZ 15/16-B1-2177 MIT ZENTRIERHILFE
AZ 15/16-B1-2245
AZ 15/16-B2
AZ 15/16-B2-1747
AZ 15/16-B2-1747 MIT HAFTMAGNET
AZ 15/16-B3
AZ 15/16-B3-1747
AZ 15/16-B3-1747 MIT HAFTMAGNET
AZ 15/16-B6
AZ 16-03ZI-B1
AZ 16-03ZI-B1-2024 MIT SCHLITZABDECKUNG
AZ 16-03ZI-B1-2053 MIT KUGELRASTUNG
AZ 16-03ZI-B1-2177 MIT ZENTRIERHILFE
AZ 16-03ZI-B6L
AZ 16-03ZI-B6R
AZ 16-03ZIB1-1747
AZ 16-03ZIB1-M20
AZ 16-12ZI-B2L
AZ 16-12ZI-B2R
AZ 16-12ZI-B6L
AZ 16-12ZI-B6L-M20
AZ 16-12ZI-B6R
AZ 16-12ZI-B6R-M20
AZ 16-12ZI-ST-B1-2053
AZ 16-12ZI-STL-B6R-M16
AZ 16-12ZI-STR-B6L-M16
AZ 16-12ZIB1
AZ 16-12ZIB1-1747
AZ 16-12ZIB1-2053
AZ 16-12ZIB1-M20
A-K4P-M12-S-G-2M-BK-2-X-A-4-69
A-K4P-M12-S-G-5M-GY-2-X-A-4-69-075
KUGELRASTUNG 2053-2
MELDELEUCHTE 24VDC M20 ORANGE
MONTAGESATZ MS AZ 15/16 P
編輯
光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。光柵讀數(shù)頭一般固定在機(jī)床固定部件上，標(biāo)尺光柵裝在機(jī)床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。
以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
電子細(xì)分與判向法
光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。
在一個莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數(shù)脈沖，需對這兩路信號進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 [1] 。
編輯
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機(jī)床靜止部件上，此時輸出導(dǎo)線不移動易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對機(jī)床運(yùn)動的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對運(yùn)動的兩個部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個要求，則需設(shè)計加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，用一個卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時，用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動時讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動工作臺，觀察數(shù)顯表計數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個參考位置，來回移動工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否一致。
通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機(jī)床加工環(huán)境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2] 。
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（1）光柵尺傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行。
（2）盡可能外加保護(hù)罩，并及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵尺傳感器殼體內(nèi)部。
（3）定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動。
（4）為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
（5） 為保證光柵尺傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。
（6） 光柵尺傳感器嚴(yán)禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵尺傳感器即失效了。
（7） 不要自行拆開光柵尺傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。
（8） 應(yīng)注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。
（9） 光柵尺傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質(zhì)量。
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合理選取光柵尺，正確使用使其物盡其能；也有互相矛盾的一面，安裝位置既要盡可能靠近驅(qū)動軸線，又要盡量遠(yuǎn)離機(jī)床的發(fā)熱源(如絲杠副)，這就要看機(jī)床設(shè)計師，怎樣兼顧折衷考慮各方面因素，綜合考慮光柵尺選型、設(shè)計、安裝、捌試等因素，得到比較合理的性價比，勢必取得比較好的控制檢測效果。 通過以上幾個步驟的調(diào)試，一臺數(shù)控機(jī)床一般都能獲得很好的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度)，達(dá)到機(jī)床設(shè)計要求，能很容易滿足用戶的需求，對數(shù)控機(jī)床的制造廠家和使用用戶有著非凡的現(xiàn)實(shí)意義 [3]
長度計是針對眾多工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域及檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計的各種量程的高精度儀器。采用高精度進(jìn)口光柵制作為測量基準(zhǔn)，遵循阿貝原則，按照機(jī)械穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性好的原則設(shè)計而成。廣泛適用于多種應(yīng)用，其應(yīng)用包括精密工件檢測、多點(diǎn)檢測、測量設(shè)備監(jiān)測和位置測量等眾多領(lǐng)域。
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長度計是針對眾多工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域及檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計的各種量程的高精度儀器。
工廠型長度計
采用高精度進(jìn)口光柵制作為測量基準(zhǔn)，遵循阿貝原則，按照機(jī)械穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性好的原則設(shè)計而成。
廣泛適用于多種應(yīng)用，其應(yīng)用包括精密工件檢測、多點(diǎn)檢測、測量設(shè)備監(jiān)測和位置測量等眾多領(lǐng)域。
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儀器包括高精度光柵裝置、密珠導(dǎo)軌的測量桿裝置、高性能的高速采樣等。
高度計采用高精度光柵作為測量基準(zhǔn)，選用玻璃基體的增量式光柵尺，所以測量支持大測量范圍，對震動和沖擊不敏感，并具有確定的溫度特性。
增量光柵尺的掃描方法為光電掃描，因此無機(jī)械接觸也無磨損。電子設(shè)備對輸出信號進(jìn)行細(xì)分至納米級的極小測量步距，從而確保一個信號周期內(nèi)微小位置誤差。
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1、 精度高（高精度進(jìn)口光柵、高精度導(dǎo)軌）；
計量型長度計
2、 可靠性好（經(jīng)過10萬次重復(fù)性實(shí)驗(yàn)）；
3、 檢測速度快、快速檢測不跳數(shù)；
4、 校準(zhǔn)方便；
5、 應(yīng)用廣泛，自動檢測設(shè)備、手動測量或定位設(shè)備——無論是長度、間距、高度、厚度或直線位移都可以快速、精確和可靠的測量。
光柵：光柵是結(jié)合數(shù)碼科技與傳統(tǒng)印刷的技術(shù)，能在特制的膠片上顯現(xiàn)不同的特殊效果。在平面上展示栩栩如生的】，電影般的流暢動畫片段，匪夷所思的幻變效果。
數(shù)顯投影儀光柵尺
數(shù)顯投影儀光柵尺
光柵是一張由條狀透鏡組成的薄片，當(dāng)我們從鏡頭的一邊看過去，將看到在薄片另一面上的一條很細(xì)的線條上的圖像，而這條線的位置則由觀察角度來決定。如果我們將這數(shù)幅在不同線條上的圖像，對應(yīng)于每個透鏡的寬度，分別按順序分行排列印刷在光柵薄片的背面上，當(dāng)我們從不同角度通過透鏡觀察，將看到不同的圖像。
光柵尺：其實(shí)起到的作用是對刀具和工件的坐標(biāo)起一個檢測的作用，在數(shù)控機(jī)床中常用來觀察其是否走刀有誤差，以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動的誤差的補(bǔ)償作用，其實(shí)就象人眼睛看到我切割偏沒偏的作用，然后可以給手起到一個是否要調(diào)整我是否要改變用力的標(biāo)準(zhǔn)。光柵尺廣泛應(yīng)用于數(shù)顯投影儀、影像測量儀、工具顯微鏡、二維測繪儀等等儀器產(chǎn)品上。
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一、引言
目前在精密機(jī)加工和數(shù)控機(jī)庫中采用的精密位稱數(shù)控系統(tǒng)框圖。
隨著電子技術(shù)和單片機(jī)技術(shù)的發(fā)展，光柵傳感器在位移測量系統(tǒng)得到廣泛應(yīng)用，并逐步向智能化方向轉(zhuǎn)化。
利用光柵傳感器構(gòu)成的位移量自動測量系統(tǒng)原理示意圖。該系統(tǒng)采用光柵移動產(chǎn)生的莫爾條紋與電子電路以及單片機(jī)相結(jié)合來完成對位移量的自動測量，它具有判別光柵移動方向、預(yù)置初值、實(shí)現(xiàn)自動定位控制及過限報警、自檢和掉電保護(hù)以及溫度誤差修正等功能。下面對該系統(tǒng)的工作原理及設(shè)計思想作以下介紹。
二、電子細(xì)分與判向電路
光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。目前高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，本系統(tǒng)采用了電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量，同量莫爾條紋又具有光學(xué)放大作用，其放大倍數(shù)為 ：
(1) 式中：W為莫爾條紋寬度；d為光柵柵距（節(jié)距）；θ為兩塊光柵的夾角，rad
在一個莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與羊向功能。本系統(tǒng)采用的光柵尺柵線為50線對/mm，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖，這在一般工業(yè)測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，我們采用了由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個滏電器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數(shù)脈沖，需對這兩路信號進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波，經(jīng)由兩個與或非門74LS54芯片組成的四細(xì)分判向電路輸入可逆計數(shù)器，后送入由8031組成的單片機(jī)系統(tǒng)中進(jìn)行處理。
三、單片機(jī)與接口電路
為實(shí)現(xiàn)可逆計數(shù)和提高測量速度，系統(tǒng)采用了193可逆計數(shù)器。假設(shè)工作平臺運(yùn)行速度為v，光柵傳感器柵距為d，細(xì)分?jǐn)?shù)為N，則計數(shù)脈沖的頻率為：
(2) 若v=1m/s,d=20μm,N=20，則f=1MHz，對應(yīng)計數(shù)時間間隔為1，顯然對于8031單片機(jī)系統(tǒng)的響應(yīng)為2μs是不能勝任的。經(jīng)可逆計數(shù)器分頻后，可大大地提高測量速度。
由于193是4位二進(jìn)制輸出，為與單片機(jī)接口，把兩片193采用了級聯(lián)的方式，這樣多可計255個脈沖，若再來脈沖，進(jìn)位端或借位端將輸出一個脈沖送到單片機(jī)T0、T1端計數(shù)，保證送到8031的信號不丟失。
本系統(tǒng)長度大可測幾米（由光柵實(shí)際長度決定），小分辨率為μm級，需要7個顯示數(shù)據(jù)。正向運(yùn)行時不顯示符號，反向運(yùn)行時需顯示"-"號，所以連同符號位，共需8個顯示塊。為了符全人們應(yīng)用習(xí)慣，顯示塊選用共陰極LED。
為實(shí)現(xiàn)測量系統(tǒng)的智能化，設(shè)置了一個2×8方式鍵盤矩陣，其中包括0～9共10個數(shù)字鍵和6個功能鍵：L/A長度/角度轉(zhuǎn)稱功能鍵；+/-符號轉(zhuǎn)換功能鍵；ΔT溫度誤差修正功能鍵；EXE執(zhí)行鍵；ENT預(yù)置鍵CE（清零鍵）。鍵盤、顯示器與單片機(jī)之間通過一個接口芯片8155來連接。其中，8155的PA口設(shè)置轔基本輸出方式，作為8位LED顯示的段碼線；PB口設(shè)為輸出方式，作為8位LED的位選線；PC口設(shè)為輸入方式，作為鍵盤的行掃描線。PB口俠選線每次選通1位顯示，每次顯示1ms，由于人眼視覺惰性，可產(chǎn)生8位顯示塊同時顯示現(xiàn)象。
由于從前置電路74LS54出來的脈沖經(jīng)過2片193分頻后，直接進(jìn)入8031的僅為大于255的"大"數(shù)，而小于255的"小"數(shù)是由兩片193輸出通過I/O接口輸入到8031內(nèi)部處理，這個I/O接口芯片是通過擴(kuò)展一片8255實(shí)現(xiàn)的。其中，8255PB口設(shè)為基本輸入方式，PB0-PB3作為1#193輸入，PB4～PB7作為2#193輸入。PA口、PC口的低位設(shè)為輸出，作為系統(tǒng)并行BCD碼輸出。由于8031單片機(jī)無內(nèi)ROM，應(yīng)外擴(kuò)展一片2732（4k EPROM）。只用PSEN片選，不必增加地址譯碼。為鎖存8031P0口輸入的地址信號，在8031和2732之間需加一片74LS373地址鎖存器。
四、軟件設(shè)計
根據(jù)硬件電路和系統(tǒng)功能要求，我們設(shè)計了軟件程序，由于采用了溫度誤差修正子程序，可使檢測的精度得到大大提高。光柵傳感器是光機(jī)電一體化結(jié)構(gòu)，光柵尺是由玻璃制做，外殼是由型鋁材料。當(dāng)環(huán)境溫度變化時，必然會引起結(jié)構(gòu)尺寸改變導(dǎo)致光柵柵距的變化，帶來檢測誤差。設(shè)定環(huán)境溫度為20℃時為檢測標(biāo)準(zhǔn)值，與標(biāo)準(zhǔn)值比較測出溫度變化時帶來的位移誤差值，即時測出位移誤差一溫度特殊性性曲線，由特性曲線擬合出誤差一溫度方程式，作為軟件溫度誤差修正的基礎(chǔ)。本系統(tǒng)軟件采用模塊化結(jié)構(gòu)，軟件編制簡潔，緊湊合理。
五、結(jié)論
根據(jù)上述硬件電路和軟件設(shè)計，經(jīng)實(shí)驗(yàn)測試，系統(tǒng)的測精度可優(yōu)于±5μm，目前，我們研制的利用光柵傳感器進(jìn)行長度、角度自動測量的智能儀表已形成系列產(chǎn)品，分辨率可從20μm到1μm，具有性能穩(wěn)定、抗*力強(qiáng)、體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、成本低等優(yōu)點(diǎn)，已成功地應(yīng)用于機(jī)庫改造和相關(guān)的光電尺寸與位置檢測系統(tǒng)中。
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一、位移傳感器基本原理
光柵位移傳感器的工作原理，是由一對光柵副中的主光柵（即標(biāo)尺光柵）和副光柵（即指示光柵）進(jìn)行相對位移時，在光的干涉與衍射共同作用下產(chǎn)生黑白相間（或明暗相間）的規(guī)則條紋圖形，稱之為莫爾條紋。經(jīng)過光電器件轉(zhuǎn)換使黑白（或明暗）相同的條紋轉(zhuǎn)換成正弦波變化的電信號，再經(jīng)過放大器放大，整形電路整形后，得到兩路相差為90°的正弦波或方波，送入光柵數(shù)顯表計數(shù)顯示。
二、位移傳感器安裝方式
光柵線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機(jī)床靜止部件上，此時輸出導(dǎo)線不移動易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對機(jī)床運(yùn)動的部件上（如滑板）。
1、位移傳感器安裝基面
安裝光柵線位移傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對運(yùn)動的兩個部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個要求，則需設(shè)計加工一件光柵尺基座?；笞龅剑孩賾?yīng)加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（好基座長出光柵尺50mm左右）。②該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時，把M2螺釘*上緊。在安裝光柵主尺時，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
（1） 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。
?。?） 在有基座情況下安裝好后，好用一個卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。
?。?） 不能安裝卡子時，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動時讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動工作臺，觀察數(shù)顯表計數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個參考位置，來回移動工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否一致。
通過以上工作，光柵傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機(jī)床加工環(huán)境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，光柵傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計是按照光柵傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力。
三、位移傳感器使用注意事項
?。?）光柵傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行。
?。?）盡可能外加保護(hù)罩，并及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵傳感器殼體內(nèi)部。
?。?）定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動。
?。?）為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
?。?） 為保證光柵傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。
?。?） 光柵傳感器嚴(yán)禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵傳感器即失效了。
?。?） 不要自行拆開光柵傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。
?。?） 應(yīng)注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。
?。?） 光柵傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質(zhì)量。
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