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| 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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超高真空電子束蒸鍍設備介紹
超高真空環(huán)境的特徵為其真空壓力低於10-8至10-12 Torr，在化學物理和工程領(lǐng)域十分常見。超高真空環(huán)境對於科學研究非常重要，因為實驗通常要求，在整個實驗過程中，表面應保持無污染狀態(tài)和使用較低能量的電子和離子的實驗技術(shù)的使用，而不會受到氣相散射的過度干擾。在這樣超高真空環(huán)境下使用電子束蒸鍍，SYSKEY可以提供高品質(zhì)的薄膜。
針對超高真空和高溫加熱設計基板旋轉(zhuǎn)鍍膜機構(gòu)，使用陶瓷培林旋轉(zhuǎn)，並在內(nèi)部做水冷循環(huán)來保護機構(gòu)以確保長時間運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。
| 超高真空電子束蒸鍍設備應用領(lǐng)域 | 腔體 |
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| 配置和優(yōu)點 | 選件 |
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