在醫(yī)藥、微電子、食品、精密機(jī)械等行業(yè)中，需要嚴(yán)格控制潔凈室的潔凈度級別以滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和產(chǎn)品質(zhì)量的要求。包括對各種潔凈的工作臺、潔凈間的凈化效果、潔凈度級別進(jìn)行監(jiān)控與檢測。
確認(rèn)是否滿足潔凈度等級，必須使用塵埃粒子計數(shù)器。
ISO14464-1：
| 空氣潔凈度等級（N） | 大濃度限值（每立方米空氣粒子） （大于等于所標(biāo)粒徑的粒子） | |||||
| 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | 5 um | |
| ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| ISO Class 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
新版GMP
潔凈度級別 | 懸浮粒子大允許數(shù)/立方米 | |||
靜態(tài) | 動態(tài)(3) | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm(2) | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
*(1) | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B級 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級 | 3520000 | 29000 | 不作規(guī)定 | 不作規(guī)定 |
塵埃粒子計數(shù)器的核心部件是光學(xué)系統(tǒng)及動力采樣系統(tǒng)。由內(nèi)部真空泵或外部采樣泵以一定流量進(jìn)行氣體采樣。當(dāng)采樣氣體中的塵埃粒子通過激光光源等發(fā)生的光束時會發(fā)生光散亂現(xiàn)象，再通過光電變換器將光信號轉(zhuǎn)變?yōu)槊}沖信號，不同粒徑的塵埃粒子產(chǎn)生的脈沖信號也不同，粒徑越大得出該脈沖信號就越強(qiáng)，粒徑越小產(chǎn)生的脈沖信號就越弱。通過統(tǒng)計單位時間內(nèi)（采樣時間≥1min）產(chǎn)生的不同脈沖信號的數(shù)量，即可得知不同粒徑的塵埃粒子個數(shù)。 
加野KANOMAX憑借多年的經(jīng)驗(yàn)，研發(fā)、制造的激光塵埃粒子計數(shù)器：手持式2.83L小流量激光塵埃粒子計數(shù)器MODEL 3888/3889、3887Ser、便攜式28.3L/50L激光塵埃粒子計數(shù)器MODEL 3905/3910，在微電子、生物制藥、食品衛(wèi)生、空調(diào)凈化、科研院所等眾多測試領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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