在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求非常高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)中超微小顆粒物數(shù)量，以保證產(chǎn)品質(zhì)量和提升產(chǎn)品良率，特別是對(duì)于0.1μm粒子的檢測(cè)至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器主要應(yīng)用于：
1. Fab廠的制造工藝檢測(cè)：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中，使用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)環(huán)境中的塵埃粒子，確保工藝的精確性。
2. gao端封裝過(guò)程：在晶圓切割封裝過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器同樣發(fā)揮著關(guān)鍵作用，保證封裝質(zhì)量。
3. 半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)工藝的質(zhì)量監(jiān)測(cè)：通過(guò)粒子計(jì)數(shù)器對(duì)設(shè)備工藝點(diǎn)進(jìn)行監(jiān)控，確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
參考法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：
粒子計(jì)數(shù)器嚴(yán)格遵守ISO 21501-4法規(guī)，并滿足ISO 14644-1（2015）潔凈室懸浮粒子測(cè)試方法的要求，適用于class 1至6級(jí)的潔凈室環(huán)境。
使用方法：
參照ISO14644-1（2015）法規(guī)的內(nèi)容，針對(duì)不同潔凈度等級(jí)下監(jiān)測(cè)粒徑的上限要求，通過(guò)法規(guī)內(nèi)容的計(jì)算方法測(cè)算采樣點(diǎn)數(shù)及每個(gè)點(diǎn)采樣時(shí)間，對(duì)儀器進(jìn)行設(shè)定后，按照該方法進(jìn)行逐個(gè)點(diǎn)位測(cè)試。
KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950-00，同時(shí)監(jiān)測(cè)0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個(gè)數(shù)，也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評(píng)定提供依據(jù)，為芯片制造保駕護(hù)航！
Kanomax塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950-00，不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承，而且實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中。
既往產(chǎn)品尺寸難以嵌入半導(dǎo)體制造裝備中使用，本產(chǎn)品通過(guò)壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹?jiǎn)便易行。
致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時(shí)測(cè)試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。
0.1μm超小型粒子計(jì)數(shù)器KANOMAX 3950在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用
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