加野0.1μm級超小型粒子計數(shù)器為芯片制造保駕護航！
2020年9月15日，美國禁止為華為提供5G芯片，也不準(zhǔn)用機器為華為生產(chǎn)5G芯片，導(dǎo)致華為空有一身強悍技術(shù)，卻因為光刻機等原因缺芯少魂，無處施展。美國采取“斷供"的方式已對中國59家企業(yè)實施“制裁"，如果這一批科技產(chǎn)業(yè)鏈*們倒下，中國的全產(chǎn)業(yè)鏈升級、中國制造大升級將*失敗，絕非危言聳聽。
國人當(dāng)自強！光刻機、光刻膠、芯片研發(fā)等全產(chǎn)業(yè)鏈的所有生產(chǎn)、技術(shù)都要自主研發(fā)，12寸晶圓、光掩膜、EUV光源、透鏡等都要自己制造，芯片自主化生產(chǎn)之路已成必然趨勢。
由于芯片制造工藝及封裝等生產(chǎn)流程極其復(fù)雜，對生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求*，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量至關(guān)重要！
KANOMAX公司推出的超小型粒子計數(shù)器3950，同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個數(shù)，也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據(jù)，為芯片制造保駕護航！
Kanomax超小型粒子計數(shù)器MODEL 3950，不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承，實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中，致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。
通過超小型化的設(shè)計，使0.1μm級粒子計數(shù)器可嵌入裝備使用。
應(yīng)用范圍：
作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區(qū)域的管理
品 名 | 塵埃粒子計數(shù)器 | |
型 號 | 3950-00 | |
粒子測量 | 測試方法 | 光散射法 |
粒徑通道 | 2粒徑（0.1、0.3μm） | |
額定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
測量時間 | 6秒~99分59秒（1次測量時間） | |
間隔時間 | 6秒~99分59秒（測量周期） | |
采樣次數(shù) | 1~999次 或 連續(xù)測試 | |
地點設(shè)定 | 99個地點 | |
測量方式 | 重復(fù)、單次、連續(xù)、計算 | |
測量數(shù)據(jù)顯示時間 | 1~10秒 | |
測量數(shù)據(jù)顯示 | 累計值∑ 差分值△及柱形圖 | |
最大可測濃度 | 10,000,000個/m3 | |
計數(shù)效率 | 50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
偽 計 數(shù) | <1個/35min | |
粒徑分辨率 | 15%以下（相對0.3μm的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
氣 源 | 內(nèi)置泵 | |
顯示器 | 4.3英寸彩色液晶 觸摸屏 | |
通迅功能 | 本 體 | USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud） |
數(shù)據(jù)存儲 | 媒 體 | 內(nèi)存 |
數(shù)量、格式 | 最大10,000個、CSV格式 | |
顯示語言 | 英文、日語 | |
電 源 | AC100~240V | |
使用環(huán)境 | 本 體 | 15~35℃、0~85%RH （無結(jié)露） |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg | |
Kanomax超小型粒子計數(shù)器3950自推出以來好評不斷，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物制藥、食品衛(wèi)生、空調(diào)凈化、精密機械等眾多行業(yè)測試領(lǐng)域。
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