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一、特點(diǎn)
1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。
2、控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，保證探針的小游移率。
3、采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨(dú)立、準(zhǔn)確的壓力。
4、量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。
二、用途
1、測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。
2、測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
三、探針間距
1、直線(xiàn)四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、方形四探針…………… 1.00mm
3、直線(xiàn)三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
四、指標(biāo)
1、游移率

B級(jí)…………… ＜0.5%
*……………＜0.3%

                   A*………… ＜0.2%
                   AA*…………＜0.1%
2、間距偏差

                   B級(jí)…………… ＜3%
                   *…………… ＜2%
                   A*…………  ＜2%
                   AA*………… ＜1%
3、 zui大針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm
4、探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼
5、探針壓力      標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力）
                        小壓力：1.2—5N（4根針總壓力）
                        1牛頓（N）=101.97克
6、針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層）
7、 500V絕緣電阻：＞1000MΩ

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