Parker派克派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
派克漢尼汾的930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計,可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導(dǎo)體應(yīng)用中必布可少的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計,控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。Parker派克930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供桌越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK® )和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合Parker派克930系列嚴(yán)格的設(shè)計特點,給予了美國Parker派克930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。
Parker派克930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選,包括派克930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
Parker派克930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測試,以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中,保有其性能和穩(wěn)定性。
●標(biāo)準(zhǔn)表面處理5微英寸Ra ●內(nèi)部無螺紋,無彈簧
●從真空到300psig都能正常工作 ●高循環(huán)壽命(包括腐蝕性服務(wù))。
●100%氦氣泄漏測試 ●標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電鍍
●最小的顆粒產(chǎn)生和顆粒夾帶區(qū)域
Vericlean™ ,Veriflo的低硫高純度316L不銹鋼增強了電拋光、焊接和抗腐蝕能力
市場:
√半導(dǎo)體
√分析實驗室
√制藥
√生物制藥
√航空航天
√工業(yè)
特點與優(yōu)勢:
√電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
√高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務(wù))
√內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
√全壓力范圍使用:從真空到300 psig
√內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
√外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
√AOP驅(qū)動,額定壓力為75 psig
應(yīng)用:
√腐蝕性氣體和特種氣體
√半導(dǎo)體工具
√工具連接
√燃?xì)夤?/p>
√閥組箱(VMB)
Vespel®是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司(DuPont Performance Elastomers L.L.C.)的注冊商標(biāo)。
Vericlean™ 是派克漢尼汾公司(Parker Hannifin Corporation)的商標(biāo)
PEEK™ 是威格斯公司(Victrex plc)的商標(biāo)。
Parker派克UHP隔膜閥930系列現(xiàn)貨銷售尺寸圖:
Parker派克UHP隔膜閥930系列現(xiàn)貨銷售先關(guān)型號:
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45700207
45700373
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930AOPLP1NCSFSMF
930AOPLP1NCSFSMM
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930AOPLPNOSFSMF
930AOPLPNOSFSMM
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930ISTS
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930KSFSMF
930KSFSMM
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930LPHYSFSFM
930LPHYSFSMF
930LPHYSFSMM
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45700661
Parker派克930系列閥門是為半導(dǎo)體OEM和工藝晶圓制造的超高純度應(yīng)用而設(shè)計的。
Parker派克930系列有多種手動操作器和氣動執(zhí)行器可供選擇。氣動執(zhí)行器提供LP(125 PSI)或MP(300 PSI)的操作范圍。
手動閥和AOPMP(中壓)閥的工作壓力均為300psig,為該產(chǎn)品系列提供了更大的應(yīng)用范圍。